【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及静电卡盘，特别涉及一种多孔陶瓷测试装置及测试方法。
技术介绍
1、在氧化铝、氮化铝的陶瓷介电材质基板之间放入电极，并烧结制作的陶瓷产品为静电吸盘，通过内部的电极产生静电吸附力用于吸附晶圆的基板。通过陶瓷板将氦气通至基板和被吸附对象之间，从而控制吸附对象的温度。在cvd、pvd、离子注入等环节中，随着处理的进行，基板的温度会上升，而氦气可以有效的降低基板的温度，对于处理对象的加工至关重要。氦气通过基座的氦气通路再经过陶瓷盘的氦气孔通至被吸附对象背面，传统的氦气通路会出现电弧放电的现象，所以会在通路中装入多孔陶瓷使对抗电弧放电的能力增加。但是虽然解决了电弧放电的现象，但是由于加入了多孔陶瓷，使得透气均匀性存在温度，并且现有方案中只能对整体静电吸盘的总透气率进行测试，不能对单个多孔陶瓷进行测试，对透气均匀性的把控存在缺陷。
2、现有技术中，例如twi751444b公开的静电吸盘专利，一个静电吸盘中存在多个多孔陶瓷，但是只能对整体的透气率进行测试，会导致静电吸盘不同位置的透气情况不一样，从而导致对于吸附对象的散热效果存
【技术保护点】
1.一种多孔陶瓷测试装置，其特征在于，所述测试装置包括气源、干燥装置、流量计和用于夹持待检测多孔陶瓷的多孔陶瓷夹具，所述气源与所述干燥装置之间通过第一连接管连通，所述第一连接管上设有第一调压阀，所述干燥装置与所述流量计之间通过第二连接管连通，所述第二连接管上设有第二调压阀，所述流量计与所述多孔陶瓷夹具之间通过第三连接管连通。
2.根据权利要求1所述的一种多孔陶瓷测试装置，其特征在于，所述第一调压阀为减压调压阀，其压力调节范围为0.01Mpa～0.5Mpa。
3.根据权利要求1所述的一种多孔陶瓷测试装置，其特征在于，所述气源为压力大于1Mpa的氦...
【技术特征摘要】
1.一种多孔陶瓷测试装置，其特征在于，所述测试装置包括气源、干燥装置、流量计和用于夹持待检测多孔陶瓷的多孔陶瓷夹具，所述气源与所述干燥装置之间通过第一连接管连通，所述第一连接管上设有第一调压阀，所述干燥装置与所述流量计之间通过第二连接管连通，所述第二连接管上设有第二调压阀，所述流量计与所述多孔陶瓷夹具之间通过第三连接管连通。
2.根据权利要求1所述的一种多孔陶瓷测试装置，其特征在于，所述第一调压阀为减压调压阀，其压力调节范围为0.01mpa～0.5mpa。
3.根据权利要求1所述的一种多孔陶瓷测试装置，其特征在于，所述气源为压力大于1mpa的氦气或者氮气或者空气。
4.根据权利要求1所述的一种多孔陶瓷测试装置，其特征在于，所述流量计为质量流量计，其测试范围为2slm～60slm。
5.根据权利要求1所述的一种多孔陶瓷测试装置，其特征在于，所述多孔陶瓷夹具包括上...
【专利技术属性】
技术研发人员：陈振宁，李君，石锗元，肖伟，李海南，胡淑梅，
申请(专利权)人：君原电子科技海宁有限公司，
类型：发明
国别省市：
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