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本发明公开了一种多孔陶瓷测试装置及测试方法，属于静电卡盘技术领域，所述测试装置包括气源、干燥装置、流量计和用于夹持待检测多孔陶瓷的多孔陶瓷夹具，所述气源与所述干燥装置之间通过第一连接管连通，所述第一连接管上设有第一调压阀，所述干燥装置与所述...
该专利属于君原电子科技（海宁）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过君原电子科技（海宁）有限公司授权不得商用。

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