【技术实现步骤摘要】
本技术涉及半导体封装设备领域，具体为一种能够预防回流偏移的回流机。
技术介绍
1、回流机内部通过步梁实现晶圆在各个温区的传送，由于作业过程中回流机内部助焊剂累积，会出现晶圆滞留在回流机热板的现象，偏移原正常位置，后续过来的晶圆与该偏移的晶圆堆叠，最终一起出炉时两片晶圆均有回流不充分的情况。因此，提出一种能够预防回流偏移的回流机。
技术实现思路
1、为解决上述技术问题，本技术提出一种能够预防回流偏移的回流机，包括若干根步梁：
2、所述回流机内部依次设置若干个温区，每个温区对应设置一个热板；各热板均匀间隔设置；各热板上均平行设有若干个传送轨道槽；相邻的热板上的传送轨道槽一一对应；若干根步梁分别设置在对应的传送轨道槽内且可沿传送轨道槽长度方向移动；所述步梁的截面为椭圆形；每个步梁的一侧椭圆形端面上偏心位置上安装有翻转轴；各步梁可随对应的翻转轴转动；
3、所述步梁上间隔设置焊接固定块，该焊接固定块呈半椭球状；
4、当步梁不移动时，步梁置于传送轨道槽内部，步梁最高...
【技术保护点】
1.一种能够预防回流偏移的回流机，其特征在于：包括若干根步梁：
2.根据权利要求1所述的能够预防回流偏移的回流机，其特征在于：
3.根据权利要求1所述的能够预防回流偏移的回流机，其特征在于：
4.根据权利要求1所述的能够预防回流偏移的回流机，其特征在于：
5.根据权利要求1所述的能够预防回流偏移的回流机，其特征在于：所述步梁为四个。
【技术特征摘要】
1.一种能够预防回流偏移的回流机，其特征在于：包括若干根步梁：
2.根据权利要求1所述的能够预防回流偏移的回流机，其特征在于：
3.根据权利要求1所述的能够预防回流偏移...
【专利技术属性】
技术研发人员：狄晨，王思佳，
申请(专利权)人：江苏芯德半导体科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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