【技术实现步骤摘要】
本申请属于集成电感，尤其涉及一种立体电感及其制造方法。
技术介绍
1、现有技术中，大多采用平面结构的集成电感，由于这种集成电感制作于衬底平行的平面上。在高频条件下，集成电感的衬底中会形成涡旋电流(eddycurrent)，涡旋电流的方向与电感线圈中的电流方向相反，这将导致电感线圈的磁通量减少，额外的能量损失较大并使得整个电感的品质因数q值下降。
技术实现思路
1、本申请的一个实施例提供一种立体电感及其制造方法，以解决现有集成电感的衬底中会形成涡旋电流，导致集成电感的品质因数低的问题。
2、第一方面，本申请的一个实施例提供一种立体电感的制造方法，包括以下步骤：
3、获取待制作电感的绝缘面板，在所述绝缘面板上沉积涂覆一层介质层并在所述介质层上沉积涂覆一层第一金属层，得到基板；
4、采用第二金属层、第三金属层、第一光阻和第二光阻在所述基板上进行涂布处理，构建第一空气桥；
5、位于所述第一空气桥的上方，采用第三光阻、第四光阻和第四金属层在所述基板上进...
【技术保护点】
1.一种立体电感的制造方法，其特征在于，包括以下步骤：
2.根据权利要求1所述的立体电感的制造方法，其特征在于，采用第二金属层、第三金属层、第一光阻和第二光阻在所述基板上进行涂布处理，构建第一空气桥包括：
3.根据权利要求2所述的立体电感的制造方法，其特征在于，所述第一光阻的厚度大于所述第一金属层和所述第二金属层的厚度之和。
4.根据权利要求1所述的立体电感的制造方法，其特征在于，采用第三光阻、第四光阻和第四金属层在所述基板上进行涂布处理，构建第二空气桥包括：
5.根据权利要求1-4任意一项所述的立体电感的制造方法，其特...
【技术特征摘要】
1.一种立体电感的制造方法，其特征在于，包括以下步骤：
2.根据权利要求1所述的立体电感的制造方法，其特征在于，采用第二金属层、第三金属层、第一光阻和第二光阻在所述基板上进行涂布处理，构建第一空气桥包括：
3.根据权利要求2所述的立体电感的制造方法，其特征在于，所述第一光阻的厚度大于所述第一金属层和所述第二金属层的厚度之和。
4.根据权利要求1所述的立体电感的制造方法，其特征在于，采用第三光阻、第四光阻和第四金属层在所述基板上进行涂布处理，构建第二空气桥包括：
5.根据权利要求1-4任意一项所述的立体电感的制造方法，其特征在于，所述立体电感的所述第二金属层位于所述第一金属层上方；和/或，所述立体电感的所述第四金属层位于所述第三金属层上方且所述第四金属层与所述第三金属层之间呈中空结构。
6.根据权利要求1-4任意一项所述的立体电感的制造方法，其特征在于，所述介质层采用氮化硅或二氧化硅材料制作的；和/或，所述绝缘面板采用砷化镓材料制作的。
7.根据权利要求1-4任意一项所述的立体电感的制造方法，其特征在于，所述第一光阻为正光阻，则所述第二光阻为负...
【专利技术属性】
技术研发人员：黄光伟，张朝闵，陈建星，吴靖，陈超，
申请(专利权)人：福建省福联集成电路有限公司，
类型：发明
国别省市：
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