回转平台组件及扫描电镜制造技术

本发明专利技术涉及真空设备技术领域，公开了一种回转平台组件及扫描电镜，回转平台组件包括：样品台底座，适于支撑固定样品台，并带动其做回转运动；驱动电机，其与样品台底座之间设置有传动组件，驱动电机适于通过传动组件驱动样品台底座转动；罩壳，包裹于驱动电机的外侧，以隔绝驱动电机运行时产生的感应磁场。本发明专利技术提供的回转平台组件，罩壳包裹于驱动电机外部，以将驱动电机运行时产生的感应磁场隔绝在罩壳内部，从而防止驱动电机运行时释放的磁力线对样品台处的电子束运动造成干扰，进而保证扫描电镜的观察效果。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及真空设备，具体涉及一种回转平台组件及扫描电镜。

技术介绍

1、扫描电子显微镜(sem)是一种介于透射电子显微镜和光学显微镜之间的观察手段，其利用聚焦的很窄的高能电子束来扫描样品。利用扫描电镜观察物体微观形貌时，需要通过旋转样品台以将视野中的图像摆正，尤其在一些高精尖技术的应用领域，对样品台的旋转精度要求非常高。由于样品台设置于真空环境中，而驱动电机设置于大气环境中，从而导致机械传动距离较长，进而影响样品台的旋转精度。为避免机械传动距离较长，需要将驱动电机与样品台底座靠近设置，但是，驱动电机运行时所释放的磁力线会对样品台处的电子束运动造成干扰，进而影响扫描电镜的观察效果。

技术实现思路

1、有鉴于此，本专利技术提供了一种回转平台组件及扫描电镜，以解决驱动电机运行时，其产生的磁力线会对样品台处的电子束造成干扰，进而影响扫描电镜观察效果的问题。

2、第一方面，本专利技术提供了一种回转平台组件，包括：

3、样品台底座，适于支撑固定样品台，并带动其做回转运动；</p>

4、驱动本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种回转平台组件，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的回转平台组件，其特征在于，所述罩壳(4)包括坡莫合金罩壳。

3.根据权利要求1所述的回转平台组件，其特征在于，所述回转平台组件还包括安装座(5)，所述样品台底座(1)与所述安装座(5)转动连接，所述驱动电机(2)与所述安装座(5)固定连接，所述驱动电机(2)的转轴通过所述传动组件(3)与所述样品台底座(1)传动连接，以驱动所述样品台底座(1)绕自身轴线做回转运动。

4.根据权利要求3所述的回转平台组件，其特征在于，所述传动组件(3)包括相啮合的蜗杆(32)和蜗轮(33)，所述蜗杆(32)...

【技术特征摘要】

1.一种回转平台组件，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的回转平台组件，其特征在于，所述罩壳(4)包括坡莫合金罩壳。

3.根据权利要求1所述的回转平台组件，其特征在于，所述回转平台组件还包括安装座(5)，所述样品台底座(1)与所述安装座(5)转动连接，所述驱动电机(2)与所述安装座(5)固定连接，所述驱动电机(2)的转轴通过所述传动组件(3)与所述样品台底座(1)传动连接，以驱动所述样品台底座(1)绕自身轴线做回转运动。

4.根据权利要求3所述的回转平台组件，其特征在于，所述传动组件(3)包括相啮合的蜗杆(32)和蜗轮(33)，所述蜗杆(32)与所述转轴同步转动连接，所述蜗轮(33)与所述样品台底座(1)同步转动连接；其中，所述蜗杆(32)和所述蜗轮(33)的模数均包括0.5，所述蜗轮(33)与所述蜗杆(32)的减速比包括90。

5.根据权利要求4所述的回转平台组件，其特征在于，所述蜗轮(33)与所述安装座(5)之间设置有承载轴承(11)，所述承载轴承(11)的外圈(111)与所述安装座(5)固定连接，所述蜗轮(33)与所述承载轴承(11)的内圈(112)固定连接，并对应所述内圈(112)的孔洞(1121)设置有环壁(331)；所述环壁(331)的轴线与所述蜗轮(33)的轴线...

【专利技术属性】
技术研发人员：张成龙，靳佳，侯焱，孟祥良，
申请(专利权)人：北京中科科仪股份有限公司，
类型：发明
国别省市：