下载回转平台组件及扫描电镜的技术资料

文档序号:43333831

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本发明涉及真空设备技术领域,公开了一种回转平台组件及扫描电镜,回转平台组件包括:样品台底座,适于支撑固定样品台,并带动其做回转运动;驱动电机,其与样品台底座之间设置有传动组件,驱动电机适于通过传动组件驱动样品台底座转动;罩壳,包裹于驱动电机...
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