【技术实现步骤摘要】
本申请涉及用于操作电子束系统的方法。
技术介绍
1、电子束系统包括生成电子束的束源。该电子束在物体上照射出一个光斑，该光斑的尺寸在通过物镜聚焦时尽可能地减小。电子束系统可以借助使电子束从其轨迹偏转来使由电子束照射的光斑在物体上的区域上方扫描。电子束系统还包括可以用于检测在电子束入射在物体上时物体所发射的电子的检测器。通过将电子束的偏转分配给来自检测器的测量值来生成电子显微图像。所照射的光斑越小，电子显微图像可实现的分辨率就越高。
2、在某些电子束系统中，电子束在束源与物体之间的大部分路径上都要穿过束管。向束管提供电位以便使束中的电子在进入束管时加速，并且在这些电子从束管离开时通过电子束系统的静电透镜的场使这些电子在束管与物体之间减速。因此，束中的电子更快地到达物体，并且因此受到由束中的其他电子引起的静电排斥较少，这种静电排斥会增大束在物体上的光斑。相应地，在这些电子束系统的常规操作期间将供应到束管的电位选择为尽可能地高，使得光斑尽可能地小，并且因此所记录的电子显微图像的可实现分辨率尽可能地高。
3、然而，用户可能...
【技术保护点】
1.一种用于操作电子束系统的方法，该电子束系统包括：
2.根据权利要求1所述的方法，其中，如果该至少一个电流中的一个电流降到预定值以下，则符合该预定标准，和/或如果该至少一个电流中的该电流未降到该预定值以下，则不符合该预定标准。
3.一种用于操作电子束系统的方法，该电子束系统包括：
4.根据权利要求3所述的方法，其中，如果该至少一个电流中的一个电流超过预定值，则符合该预定标准，和/或如果该至少一个电流中的该电流未超过该预定值，则不符合该预定标准。
5.根据权利要求1至4中任一项所述的方法，其中，在该束管的第二端与该物体之...
【技术特征摘要】
1.一种用于操作电子束系统的方法，该电子束系统包括：
2.根据权利要求1所述的方法，其中，如果该至少一个电流中的一个电流降到预定值以下，则符合该预定标准，和/或如果该至少一个电流中的该电流未降到该预定值以下，则不符合该预定标准。
3.一种用于操作电子束系统的方法，该电子束系统包括：
4.根据权利要求3所述的方法，其中，如果该至少一个电流中的一个电流超过预定值，则符合该预定标准，和/或如果该至少一个电流中的该电流未超过该预定值，则不符合该预定标准。
5.根据权利要求1至4中任一项所述的方法，其中，在该束管的第二端与该物体之间的电子受因该第二电位与该第三电位之间的差而生成的电场并且受该磁透镜所生成的场影响。
6.根据权利要求1至5中任一项所述的方法，其中，该预定标准取决于该第二值。
7.根据权利要求1至6中任一项所述的方法，其中，将该束聚焦在该物体上包括：找到使得由该束照射在该物体上的光斑尽可能地小的电流值。
8.根据权利要求1至7中任一项所述的方法，其中，将该束聚焦在该物体上包括：检测由该电子束生成的电子；基于所检测到的电...
【专利技术属性】
技术研发人员：B·加姆，
申请(专利权)人：卡尔蔡司显微镜有限责任公司，
类型：发明
国别省市：
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