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一种用于操作电子束系统的方法包括:将供应到电子发射体的第一电位设置为第一值,将供应到束管的第二电位设置为第二值,并且将供应到物体的第三电位设置为第三值,使得该第三电位大于该第一电位并且该第二电位大于该第三电位。该方法还包括:通过修改供应到至...该专利属于卡尔蔡司显微镜有限责任公司所有,仅供学习研究参考,未经过卡尔蔡司显微镜有限责任公司授权不得商用。
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一种用于操作电子束系统的方法包括:将供应到电子发射体的第一电位设置为第一值,将供应到束管的第二电位设置为第二值,并且将供应到物体的第三电位设置为第三值,使得该第三电位大于该第一电位并且该第二电位大于该第三电位。该方法还包括:通过修改供应到至...