光器件、光发送装置及光接收装置制造方法及图纸

本申请涉及光器件、光发送装置及光接收装置。一种光器件包括：第一通道波导、第二通道波导、板生成器、以及连接到板生成器的肋波导。第二通道波导包括连接到第一通道波导的第一连接件以及连接到板生成器的第二连接件，并且第二通道波导在第二连接件处比在第一连接件处宽。板生成器的板区域包括连接到肋波导的第三连接件，并且板区域从第二通道波导的第二连接件朝向第三连接件变宽。在第一连接件处波导模式的有效折射率按TE0、TM0和TE1的顺序变大，而在第二连接件和第三连接件处波导模式的有效折射率按TE0、TE1和TM0的顺序变大。

【技术实现步骤摘要】

本文所讨论的实施方式涉及光器件、光发送装置及光接收装置。

技术介绍

1、近年来，例如，相干光通信技术已经用于在光纤通信网络中实现高速、高容量通信。在用于相干光通信的光收发器中使用的光器件优选地尺寸小。因此，光器件包括，例如：绝缘体上硅(soi)晶圆基板；作为形成在基板上的掩埋氧化物(box)层的sio2下覆层；以及形成在下覆层上的具有期望形状的si芯部。光器件还包括层叠在下覆层和芯部上的sio2上覆层。这种硅光子技术用于形成诸如光波导基板之类的光器件。

2、在光波导基板中，例如，通常使用两种类型的波导，即，通道波导和肋波导。通道波导在波导宽度方向上具有大的折射率差，因此，通过急剧弯折波导，可以减小光器件的尺寸。另一方面，肋波导使得能够减少由芯部的侧壁粗糙度引起的传播损耗，并且因此从减少损耗的角度来看对于长路由是有利的。因此，通过适当地改变包括通道波导和肋波导的波导结构，可以优化地设计光器件。已经提供了一种波导转换结构，其在将肋波导连接到通道波导时在肋波导和通道波导之间进行转换(例如，参见d.dai,y.tang,and j.e.bowers,"本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种光器件，该光器件包括：

2.根据权利要求1所述的光器件，其中，所述上覆层的材料折射率近似等于所述下覆层的材料折射率。

3.根据权利要求1所述的光器件，其中，所述第二通道波导是包括具有矩形或近似矩形的截面的芯部的波导。

4.根据权利要求1所述的光器件，其中，所述第二通道波导减少要被引导的波导模式当中的从TE1到TM0的模式转换的量和从TM0到TE1的模式转换的量。

5.根据权利要求1所述的光器件，其中，所述肋波导是包括去除所述TE1的去除结构的波导。

6.根据权利要求5所述的光器件，其中，所述去除结构包括在垂直于光行进方向...

【技术特征摘要】

1.一种光器件，该光器件包括：

2.根据权利要求1所述的光器件，其中，所述上覆层的材料折射率近似等于所述下覆层的材料折射率。

3.根据权利要求1所述的光器件，其中，所述第二通道波导是包括具有矩形或近似矩形的截面的芯部的波导。

4.根据权利要求1所述的光器件，其中，所述第二通道波导减少要被引导的波导模式当中的从te1到tm0的模式转换的量和从tm0到te1的模式转换的量。

5.根据权利要求1所述的光器件，其中，所述肋波导是包括去除所述te1的去除结...

【专利技术属性】
技术研发人员：冈徹，
申请(专利权)人：富士通光器件株式会社，
类型：发明
国别省市：