【技术实现步骤摘要】
本技术涉及显示面板制程，尤其涉及一种光刻装置和光刻系统。
技术介绍
1、在显示面板的制程中，例如，薄膜晶体管液晶显示器(thin film transistorliquid crystal display，简称tft-lcd)的制程过程，广泛应用的一种具体制程是阵列黄光制程。阵列黄光制程主要是通过光刻装置对金属膜层进行光刻，形成金属图案。其中，金属图案的线宽波动范围是阵列黄光制程中最关键参数之一。降低线宽波动范围，有利于满足高性能产品生产的要求，提升竞争力。
技术实现思路
1、本技术提供了一种光刻装置和光刻系统，以降低线宽波动范围，满足高性能产品生产要求，提升竞争力。
2、根据本技术的一方面，提供了一种光刻装置，包括：
3、壳体；
4、热板和加热装置，所述热板和所述加热装置设置于所述壳体内，且所述热板和所述加热装置之间存在间隔；所述加热装置能够对所述热板的各区域进行加热；
5、至少两个位移驱动装置，设置于所述加热装置的底部；至少两个所述位移驱...
【技术保护点】
1.一种光刻装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的光刻装置，其特征在于，所述加热装置划分为多个区块，每个所述区块对应设置有至少两个所述位移驱动装置。
3.根据权利要求2所述的光刻装置，其特征在于，每个所述区块对应设置三个所述位移驱动装置，三个所述位移驱动装置之间的位置关系构成三角形。
4.根据权利要求3所述的光刻装置，其特征在于，三个所述位移驱动装置位于对应所述区块的中部区域。
5.根据权利要求2所述的光刻装置，其特征在于，每个所述区块对应设置四个所述位移驱动装置，四个所述位移驱动装置之间的位置关系构成四边形
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【技术特征摘要】
1.一种光刻装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的光刻装置，其特征在于，所述加热装置划分为多个区块，每个所述区块对应设置有至少两个所述位移驱动装置。
3.根据权利要求2所述的光刻装置，其特征在于，每个所述区块对应设置三个所述位移驱动装置，三个所述位移驱动装置之间的位置关系构成三角形。
4.根据权利要求3所述的光刻装置，其特征在于，三个所述位移驱动装置位于对应所述区块的中部区域。
5.根据权利要求2所述的光刻装置，其特征在于，每个所述区块对应设置四个所述位移驱动装置，四个所述位移驱动装置之间的位置关系构成四边形。
6.根据权利要求5所述的光刻装置，其特征在于，所述区块的形状为四边形，四个所述位移驱动装置...
【专利技术属性】
技术研发人员：李晓峰，
申请(专利权)人：昆山龙腾光电股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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