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本技术涉及显示面板制程技术领域，其实施例公开了一种光刻装置和光刻系统。该光刻装置包括：壳体、热板、加热装置和至少两个位移驱动装置，所述热板和所述加热装置设置于所述壳体内，且所述热板和所述加热装置之间存在间隔；所述加热装置能够对所述热板的各区...
该专利属于昆山龙腾光电股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过昆山龙腾光电股份有限公司授权不得商用。

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