【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
公开的实施方式涉及试样保持件。
技术介绍
1、存在保持被等离子体处理的半导体晶片等试样的试样保持件。相关的试样保持件将具有试样保持面的陶瓷板与金属制的冷却构件接合来构成。
2、此外，作为试样保持件，提出将陶瓷板的周缘部分通过夹紧以及螺栓而固定于冷却构件的构造(例如，参照专利文献1)。
3、在先技术文献
4、专利文献
5、专利文献1：jp特开2013-232642号公报
技术实现思路
1、实施方式的一方式的试样保持件具备陶瓷板、基底构件和固定机构。陶瓷板具有第1面以及位于第1面的相反位置的第2面。基底构件位于陶瓷板的第2面，具有：与第2面的对置面即第3面；位于第3面的相反位置的第4面；和位于与比陶瓷板的周缘更内侧对应的位置且将第3面以及第4面贯通的贯通孔。固定机构与基底构件的贯通孔对应地设置，将基底构件和陶瓷板固定。
【技术保护点】
1.一种试样保持件，具备：
2.根据权利要求1所述的试样保持件，其中，
3.根据权利要求2所述的试样保持件，其中，
4.根据权利要求3所述的试样保持件，其中，
5.根据权利要求4所述的试样保持件，其中，
6.根据权利要求3～5中任一项所述的试样保持件，其中，
7.根据权利要求3～5中任一项所述的试样保持件，其中，
8.根据权利要求3～5中任一项所述的试样保持件，其中，
9.根据权利要求8所述的试样保持件，其中，
10.根据权利要求3～5中任一项所述的试样保持件，
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【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】
1.一种试样保持件，具备：
2.根据权利要求1所述的试样保持件，其中，
3.根据权利要求2所述的试样保持件，其中，
4.根据权利要求3所述的试样保持件，其中，
5.根据权利要求4所述的试样保持件，其中，
6.根据权利要求3～5中任一项所述的试样保持件，其中，
7.根据权利要求3～5中任一项所述的试样保持件，其中，
8.根据权利要求3～5中任一项所述的试样保持件，其中，
9.根据权利要求8所述的试样保持件，其中，
10.根据权利要求3～5中任一项所述的试样保持件，其中，
11.根据权利要求3～5中任一项所述的试样保持件...
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