【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及电子器件及其制备，具体涉及一种人工触觉感知系统及其应用。
技术介绍
1、进入5g和物联网（iot）时代，数据量正经历爆炸式增长。然而，现有的人工智能技术仍主要基于计算单元和存储单元分离的冯·诺伊曼架构。这种架构导致了数据传输效率低下，并限制其计算速度。因此，对于需要复杂模式识别或实时分析的任务来说，此体系的能效较低。相比之下，受大脑启发的神经形态计算将储存和处理功能集成在一起，从而实现对信息的并行处理，并展现出高效性。值得注意的是，对于基于硬件的神经形态计算而言，构建能够模拟神经形态功能、实现高效计算和数据处理的可靠器件是非常必要的。目前，两端忆阻器和三端晶体管神经形态器件已经被提出用于神经形态计算，并展现出巨大的应用潜力。另一方面，人机交互、生物机器人和智能传感系统等智能技术正迅猛发展。这一趋势推动了对灵活智能传感器的需求。与此同时，人体在外界信号的作用下，感觉器官中的感受器会产生生理反应，将这些信号转化为电信号和化学信号。随后，这些神经信号传递到大脑皮层，形成感知活动。
2、目前，基于单个神经形态器件和独立...
【技术保护点】
1.一种人工触觉感知系统，其特征在于，所述的人工触觉感知系统包括薄膜晶体管以及与所述的薄膜晶体管串联的电容式触觉传感器，所述的电容式触觉传感器为由上电极、介电层和下电极依次叠置而成的三明治结构，所述的上电极包括第一衬底和第一导电层，所述的第一衬底为PET薄膜，所述的介电层为壳聚糖薄膜，所述的介电层沉积在所述的第一导电层的表面，所述的下电极包括第二衬底和第二导电层，所述的第二衬底的材料为弹性体，所述的第二衬底的表面具有金字塔形微结构阵列，所述的第二导电层为沉积在所述的第二衬底的表面的导电颗粒，所述的第二导电层设置在所述的介电层的正下方，所述的第二导电层的表面的边缘设置有...
【技术特征摘要】
1.一种人工触觉感知系统，其特征在于，所述的人工触觉感知系统包括薄膜晶体管以及与所述的薄膜晶体管串联的电容式触觉传感器，所述的电容式触觉传感器为由上电极、介电层和下电极依次叠置而成的三明治结构，所述的上电极包括第一衬底和第一导电层，所述的第一衬底为pet薄膜，所述的介电层为壳聚糖薄膜，所述的介电层沉积在所述的第一导电层的表面，所述的下电极包括第二衬底和第二导电层，所述的第二衬底的材料为弹性体，所述的第二衬底的表面具有金字塔形微结构阵列，所述的第二导电层为沉积在所述的第二衬底的表面的导电颗粒，所述的第二导电层设置在所述的介电层的正下方，所述的第二导电层的表面的边缘设置有一圈绝缘材料组成的垫高圈，所述的第二导电层与所述的介电层之间具有空隙，所述的薄膜晶体管包括自下而上依次设置的第三衬底、第三导电层、绝缘层和电极组件，所述的绝缘层为固态电解质膜，所述的电极组件包括两个电极及连接所述的两个电极的导电界面，其中一个所述的电极为所述的薄膜晶体管的源极，另一个所述的电极为所述的薄膜晶体管的漏极，所述的导电界面为半导体沟道，所述的两个电极和所述的导电界面的材料均为金属氧化物，所述的第三导电层的材料为氧化物，所述的第三导电层为所述的薄膜晶体管的栅极，所述的薄膜晶体管的栅极与所述的第二导电层通过第一导线连接，所述的两个电极为所述的人工触觉感知系统的信号输出端。
2.根据权利要求1所述的一种人工触觉感知系统，其特征在于，所述的弹性体为聚二甲基硅氧烷，所述的第二导电层包括第一沉积层和第二沉积层，所述的导电颗粒为铝颗粒、银颗粒、金颗粒中的任意一种颗粒与氧化铟锡颗粒的组合，所述的氧化铟锡颗粒通过磁控溅射溅射沉积在所述的第二衬底的表面形成所述的第一沉积层，所述的铝颗粒、所述的银颗粒或所述的金颗粒通过热蒸镀沉积在所述的第一沉积层的表面形成所述的第二沉积层。
3.根据权利要求1所述的一种人工触觉感知系统，其特征在于，所述的第三衬底为玻璃衬底，所述的固态电解质膜的材料为壳聚糖，所述的第一导电层和所述的第三导电层的材料均为氧化铟锡，所述的两个电极和所述的导电界面的材料均为氧化铟锡、氧...
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