下载一种人工触觉感知系统及其应用的技术资料

文档序号:43301511

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本发明公开了一种人工触觉感知系统及其应用,该系统包括薄膜晶体管以及电容式触觉传感器,电容式触觉传感器为由上电极、介电层和下电极依次叠置而成的三明治结构,上电极包括第一衬底和第一导电层,下电极包括第二衬底和第二导电层,第二导电层设置在介电层的...
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