激光测距装置及方法制造方法及图纸

本公开提供了一种激光测距装置及方法，包括：激光器；调制频率源适用于输出调制信号；电光调制器适用于基于调制信号对初始光信号进行调制，获得调制光信号；分束器适用于将调制光信号进行分束；点频鉴相模块适用于获得依赖于第一参考光信号和基于第一测量光信号从待测目标反射的第一反射光信号的第一相位差，并基于第一相位差获得待测目标与分束器之间的初始测量距离；控制组件适用于控制调制频率源输出具有点频调制模式的调制信号；并且适用于基于初始测量距离控制调制频率源输出具有扫频调制模式的调制信号；以及扫频鉴相模块，适用于获得依赖于第二参考光信号和基于第二测量光信号从待测目标反射的第二反射光信号的第二相位差。

【技术实现步骤摘要】

本公开的至少一种实施例涉及激光测量，更具体地涉及一种激光测距装置及方法。

技术介绍

1、高端制造领域中，大尺寸精密测量技术是高端大型精密设备装配和维护的保障，其中激光绝对测距技术是大尺寸精密测量中关键支撑技术。随着我国高端制造技术的飞速发展，对测距精度、测距量程及测距速度等指标提出了更高的需求。激光绝对测距技术主要分为相干绝对测距法和非相干绝对测距法，诸如调频连续波、多波长干涉法和双光梳法等典型的相干绝对测距法，上述测距系统复杂，造价高昂，工程化应用较少；常用的非相干测量方法，诸如脉冲法，经典相位测距法和偏振扫频法，因系统的稳定性更高，工程化应用成熟度更高。但脉冲法因受限于电子带宽，精度一般为毫米级。

2、经典相位测距法测距系统较为简单，稳定性较高，且具有较高的测距速度，但存在模糊距离，因此在兼顾测量量程和测量精度时，通常采用多测尺组合测量方法，需要大带宽探测，存在多测尺拼接误差，且相位值的求解与信号幅值强相关，受环境影响较大，系统精度受限；偏振扫频法测距系统精度较高，系统基于信号频率求解距离，受幅值影响较小，且不存在模糊距离问题，但系统与激光本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种激光测距装置，其中，包括：

2.根据权利要求1所述的激光测距装置，其中，所述初始测量距离D0满足公式（1）：（1），

3.根据权利要求2所述的激光测距装置，其中，所述测量距离D满足公式（2）：（2），

4.根据权利要求3所述的激光测距装置，其中，所述点频调制模式是基于第一调制频率f1以及第二调制频率f2确定的，所述第一调制频率f1与第二调制频率f2之间的关系满足公式（3）：（3），

5.根据权利要求1-4中任一项所述的激光测距装置，其中，还包括：

6.根据权利要求5所述的激光测距装置，其中，所述扫频调制模式是基于包括扫频...

【技术特征摘要】

1.一种激光测距装置，其中，包括：

2.根据权利要求1所述的激光测距装置，其中，所述初始测量距离d0满足公式（1）：（1），

3.根据权利要求2所述的激光测距装置，其中，所述测量距离d满足公式（2）：（2），

4.根据权利要求3所述的激光测距装置，其中，所述点频调制模式是基于第一调制频率f1以及第二调制频率f2确定的，所述第一调制频率f1与第二调制频率f2之间的关系满足公式（3）：（3），

5.根据权利要求1-4中任一项所述的激光测距装置，其中，还包括：

6.根据权利要求5所述的激光...

【专利技术属性】
技术研发人员：潘映伶，纪荣祎，高超，董登峰，张滋黎，谢子琦，甄雪芝，周维虎，
申请(专利权)人：中国科学院微电子研究所，
类型：发明
国别省市：