【技术实现步骤摘要】
本公开涉及介电系数测试，具体涉及了一种太赫兹外延薄膜材料介电系数测试方法及系统。
技术介绍
1、本部分的陈述仅仅是提供了与本公开相关的
技术介绍
信息，不必然构成在先技术。
2、太赫兹波是频率在0.1thz~10thz、真空中波长在3000μm~30μm的电磁波，具有极低的单光子能量，能有效穿过塑料、纸张、陶瓷等非极性材料。太赫兹时域光谱技术是典型的太赫兹技术，通过探测随时间变化的电场强度，可以获得被测物在太赫兹波段的折射率、吸光度、介电系数等指标，这些指标可用于评价材料的性能，并以此完成物质鉴别工作。目前，太赫兹时域光谱仪发展较为成熟，用于药物、材料、地质、食品等多个领域的交叉研究。
3、介电系数是反映材料在电场作用下介电性质或极化性质的主要参数，通常用ε来表示，与材料对电磁波的色散和吸收密切相关。在外电场作用下，电介质产生电偶极矩或使已经产生的电偶极矩显示出宏观效果，该过程称为电介质的极化过程，具体包括电子极化、离子极化、电偶极子取向和空间电荷极化四种微观过程。在太赫兹波段，材料的介电响应与多种微观过程相关，因此...
【技术保护点】
1.一种太赫兹外延薄膜材料介电系数测试方法，其特征在于，包括以下步骤：
2.如权利要求1中所述的一种太赫兹外延薄膜材料介电系数测试方法，其特征在于，所述外延片为衬底和外延薄膜的结合体。
3.如权利要求1中所述的一种太赫兹外延薄膜材料介电系数测试方法，其特征在于，在采用数值方法求解薄膜的折射率和消光系数之前，还包括对采集的时域信号进行傅里叶变换，得到频域信号，将自由空间的频域信号与衬底的频域信号做比值，得到消除反射影响的频域信号计算公式。
4.如权利要求1中所述的一种太赫兹外延薄膜材料介电系数测试方法，其特征在于，在求解薄膜的折射率和...
【技术特征摘要】
1.一种太赫兹外延薄膜材料介电系数测试方法，其特征在于，包括以下步骤：
2.如权利要求1中所述的一种太赫兹外延薄膜材料介电系数测试方法，其特征在于，所述外延片为衬底和外延薄膜的结合体。
3.如权利要求1中所述的一种太赫兹外延薄膜材料介电系数测试方法，其特征在于，在采用数值方法求解薄膜的折射率和消光系数之前，还包括对采集的时域信号进行傅里叶变换，得到频域信号，将自由空间的频域信号与衬底的频域信号做比值，得到消除反射影响的频域信号计算公式。
4.如权利要求1中所述的一种太赫兹外延薄膜材料介电系数测试方法，其特征在于，在求解薄膜的折射率和消光系数之前，还包括采用解析法求解衬底的折射率和消光系数，衬底的折射率计算公式为：
5.如权利要求4中所述的一种太赫兹外延薄膜材料介电系数测试方法...
【专利技术属性】
技术研发人员：李羿璋，王忠民，祁峰，郭永斌，杨秀蔚，
申请(专利权)人：山东省科学院自动化研究所，
类型：发明
国别省市：
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