下载一种太赫兹外延薄膜材料介电系数测试方法及系统的技术资料

文档序号:43295029

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明属于介电系数测试技术领域,提供了一种太赫兹外延薄膜材料介电系数测试方法及系统,包括采集自由空间、衬底以及外延片的时域信号,并对自由空间的时域信号进行多次采集,计算时域各点方差的均值,得到参考稳定性指标;求解薄膜的折射率和消光系数,得到...
该专利属于山东省科学院自动化研究所所有,仅供学习研究参考,未经过山东省科学院自动化研究所授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。