探针测试装置及测试设备制造方法及图纸

本申请涉及一种探针测试装置及测试设备，探针测试装置包括第一滑动机构、探针组件及第二滑动机构，其中：探针组件设置于第一滑动机构，第一滑动机构用于驱动探针组件进行多轴运动，探针组件包括两根探针；第二滑动机构设置于第一滑动机构，至少一根探针设置于第二滑动机构，第二滑动机构用于驱动两根探针朝向相互靠近或远离的方向运动。本申请提供的探针测试装置，在待测产品两测试点之间间距或待测产品规格变化时，无需更换探针组件，仅需通过第二滑动机构调整两根探针之间的间距即可适应不同间距两测试点的电性测试，能有效降低待测产品的测试成本。

【技术实现步骤摘要】

本申请涉及产品测试，特别是涉及一种探针测试装置及测试设备。

技术介绍

1、随着科技水平的日渐提高，产品的良率一直是人们密切关注的问题，因而对产品性能的检测至关重要。通常待测产品包括多个待测试部，如待测试部一般包括至少两个测试点，测试点的性能可通过探针来检测。

2、实际测试过程中，待测产品通常有不同规格，同规格待测产品内的待测试部尺寸也可能不相同，而不同尺寸的待测试部内，待测试部内测试点的位置也可能不相同。而现有探针模组通常对应一种规格待测产品的性能测试，当待测产品的规格改变时，或测试同规格待测产品的不同测试点时，需要更换规格适用的探针模组，导致产品的测试成本增加。

技术实现思路

1、基于此，有必要针对现有探针模组无法适用不同间距测试点之间测试的问题，提供一种探针测试装置及测试设备。

2、一种探针测试装置，所述探针测试装置包括：

3、第一滑动机构；

4、探针组件，所述探针组件设置于所述第一滑动机构，所述第一滑动机构用于驱动所述探针组件进行多轴运动，所述探针组件包括本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种探针测试装置，其特征在于，所述探针测试装置包括：

2.根据权利要求1所述的探针测试装置，其特征在于，所述第一滑动机构包括第一X向滑动模组、Y向滑动模组及Z向滑动模组；其中，

3.根据权利要求2所述的探针测试装置，其特征在于，所述第二滑动机构包括第二X向滑动模组，所述第二X向滑动模组滑动设置于所述Z向滑动模组，且两根所述探针中的其中一根滑动设置于所述第二X向滑动模组。

4.根据权利要求3所述的探针测试装置，其特征在于，所述探针组件还包括支架、第一探针座及第二探针座，所述支架滑动设置于所述Z向滑动模组，所述第二X向滑动模组设置于所述支架，所述第一探...

【技术特征摘要】

1.一种探针测试装置，其特征在于，所述探针测试装置包括：

2.根据权利要求1所述的探针测试装置，其特征在于，所述第一滑动机构包括第一x向滑动模组、y向滑动模组及z向滑动模组；其中，

3.根据权利要求2所述的探针测试装置，其特征在于，所述第二滑动机构包括第二x向滑动模组，所述第二x向滑动模组滑动设置于所述z向滑动模组，且两根所述探针中的其中一根滑动设置于所述第二x向滑动模组。

4.根据权利要求3所述的探针测试装置，其特征在于，所述探针组件还包括支架、第一探针座及第二探针座，所述支架滑动设置于所述z向滑动模组，所述第二x向滑动模组设置于所述支架，所述第一探针座滑动设置于所述第二x向滑动模组，所述第二探针座设置于所述支架，其中一根所述探针设置于所述第一探针座，另外一根所述探针设置于所述第二探针座。

5.根据权利要求4所述的探针测试装置，其特征在于，所述第一探针...

【专利技术属性】
技术研发人员：孙玉，
申请(专利权)人：苏州华兴源创科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：