下载探针测试装置及测试设备的技术资料

文档序号:43291325

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本申请涉及一种探针测试装置及测试设备,探针测试装置包括第一滑动机构、探针组件及第二滑动机构,其中:探针组件设置于第一滑动机构,第一滑动机构用于驱动探针组件进行多轴运动,探针组件包括两根探针;第二滑动机构设置于第一滑动机构,至少一根探针设置于...
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