【技术实现步骤摘要】
本技术涉及检测装置，尤其涉及一种溅射靶材表面粗糙度精度检测装置。
技术介绍
1、溅射靶材的要求较传统材料行业高，一般要求如，尺寸、平整度、纯度、各项杂质含量、密度、n/o/c/s、晶粒尺寸与缺陷控制；较高要求或特殊要求包含：表面粗糙度、电阻值、晶粒尺寸均匀性、成份与组织均匀性、异物含量与尺寸、导磁率、超高密度与超细晶粒等等。
2、在检测溅射靶材表面的粗糙度时通常需要对溅射靶材表面进行简单清洁后进行检测，但传统的清洁方式通常是人工对其表面进行擦拭，人力擦拭较为繁琐且容易造成溅射靶材逸散，从而造成人力资源以及溅射靶材资源的浪费，鉴于此，我们提出一种溅射靶材表面粗糙度精度检测装置。
技术实现思路
1、本技术的目的在于克服现有技术的不足，适应现实需要，提供一种溅射靶材表面粗糙度精度检测装置，以解决当前对溅射靶材表面粗糙度进行检测时产生浪费的技术问题。
2、为了实现本技术的目的，本技术所采用的技术方案为：设计一种溅射靶材表面粗糙度精度检测装置，包括检测机构和清扫机构：所述检测...
【技术保护点】
1.一种溅射靶材表面粗糙度精度检测装置，其特征在于，包括检测机构(1)和清扫机构(3)：所述检测机构(1)内固定连接有驱动机构(2)，所述检测机构(1)内设置有清扫机构(3)；
2.如权利要求1所述的溅射靶材表面粗糙度精度检测装置，其特征在于，所述检测机(101)的上方与检测保护罩(102)的下方相互卡接，所述清洗槽(103)的内壁开设有若干个对接槽(104)，且若干个对接槽(104)与同一个连通槽(105)相连通，所述连通槽(105)开设在清洗槽(103)外，所述连通槽(105)的下方通过通孔与驱动机构(2)的进气端相连通。
3.如权利要求2...
【技术特征摘要】
1.一种溅射靶材表面粗糙度精度检测装置，其特征在于，包括检测机构(1)和清扫机构(3)：所述检测机构(1)内固定连接有驱动机构(2)，所述检测机构(1)内设置有清扫机构(3)；
2.如权利要求1所述的溅射靶材表面粗糙度精度检测装置，其特征在于，所述检测机(101)的上方与检测保护罩(102)的下方相互卡接，所述清洗槽(103)的内壁开设有若干个对接槽(104)，且若干个对接槽(104)与同一个连通槽(105)相连通，所述连通槽(105)开设在清洗槽(103)外，所述连通槽(105)的下方通过通孔与驱动机构(2)的进气端相连通。
3.如权利要求2所述的溅射靶材表面粗糙度精度检测装置，其特征在于，所述驱动机构(2)包括鼓风机(201)，所述鼓风机(201)的一端通过驱动轴与第一齿轮(202)传动连接，所述第一齿轮(202)与第二齿轮(203)相啮合，所述第二齿轮(203)的下方固定连接有旋转组件(204)，所述第二齿轮(203)的上方与对接壳(205)的底端固定连接。
4.如权利要求3所述的溅射靶材表面粗糙度精度检测装置，其特征在于，所述鼓风机(201)的进气端通过设置在检测机(101)内的滤箱和通孔与连通槽(105)相连通，所述第一齿轮(202)和第二齿轮(203)均为锥齿轮，...
【专利技术属性】
技术研发人员：韩正飞，鲁波，冯雪，
申请(专利权)人：南京先锋材料科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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