【技术实现步骤摘要】
本技术涉及平面溅射靶材冷却，尤其涉及一种平面溅射靶材快速冷却装置。
技术介绍
1、平面溅射靶材主要是指具有一定厚度的圆形靶材及矩形靶材，在使用时，需要将靶材与进行绑定，而靶材绑定过程中需要对其加热到一定温度，达到绑定温度，才能完成对基片与背板的绑定结合，然后对靶材进行冷却，此时需要使用到平面溅射靶材快速冷却装置。
2、现有的平面溅射靶材快速冷却装置主要通过风冷的方式对放置于支架上的靶材进行快速冷却，但是在此过程中，风冷装置吸收外部空气中夹带灰尘会同步吹射向靶材，而这些灰尘很容易附着到高温靶材上，从而会对靶材造成污染，不利于其后续使用，而鉴于此，我们提出一种平面溅射靶材快速冷却装置。
技术实现思路
1、本技术的目的在于克服现有技术的不足，适应现实需要，提供一种平面溅射靶材快速冷却装置，以解决当前平面溅射靶材快速冷却装置易造成靶材污染的技术问题。
2、为了实现本技术的目的，本技术所采用的技术方案为：设计一种平面溅射靶材快速冷却装置，包括箱体，所述箱体内部活动安装有网板，...
【技术保护点】
1.一种平面溅射靶材快速冷却装置，其特征在于，包括箱体(1)，所述箱体(1)内部活动安装有网板(2)，所述箱体(1)的外部布置有循环风冷结构(3)；
2.如权利要求1所述的一种平面溅射靶材快速冷却装置，其特征在于，所述水冷箱(4)一侧底部布置有进水口，且水冷箱(4)背向于进水口一侧的中央处布置有溢流口。
3.如权利要求1所述的一种平面溅射靶材快速冷却装置，其特征在于，所述导气结构(5)包括排气板(501)和圆管(502)，所述排气板(501)固定于水冷箱(4)内底部，所述排气板(501)顶部中央布置有圆管(502)，且圆管(502)顶口延伸至箱
【技术特征摘要】
1.一种平面溅射靶材快速冷却装置，其特征在于，包括箱体(1)，所述箱体(1)内部活动安装有网板(2)，所述箱体(1)的外部布置有循环风冷结构(3)；
2.如权利要求1所述的一种平面溅射靶材快速冷却装置，其特征在于，所述水冷箱(4)一侧底部布置有进水口，且水冷箱(4)背向于进水口一侧的中央处布置有溢流口。
3.如权利要求1所述的一种平面溅射靶材快速冷却装置，其特征在于，所述导气结构(5)包括排气板(501)和圆管(502)，所述排气板(501)固定于水冷箱(4)内底部，所述排气板(501)顶部中央布置有圆管(502)，且圆管(502)顶口延伸至箱体(1)内部。
4.如权利要求3所述的一种平面溅射靶材快速冷却装置，其特征在于，所述排气板(501)内部中空，所述排气板(501)顶部等距布置有若干组气孔...
【专利技术属性】
技术研发人员：李宗雨，韩正飞，鲁波，
申请(专利权)人：南京先锋材料科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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