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本技术涉及一种平面溅射靶材快速冷却装置，旨在解决当前平面溅射靶材快速冷却装置易造成靶材污染的技术问题，包括箱体，所述箱体内部活动安装有网板，所述箱体的外部布置有循环风冷结构，所述循环风冷结构包括水冷箱、导气结构和导流风扇，所述水冷箱布置于箱...
该专利属于南京先锋材料科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过南京先锋材料科技有限公司授权不得商用。

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