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本技术涉及一种溅射靶材表面粗糙度精度检测装置，旨在解决当前对溅射靶材表面粗糙度进行检测时产生浪费的技术问题，包括检测机构和清扫机构：所述检测机构内固定连接有驱动机构，所述检测机构内设置有清扫机构，本技术通过现有溅射靶材表面粗糙度精度检测装置...
该专利属于南京先锋材料科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过南京先锋材料科技有限公司授权不得商用。

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