【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及金刚石微器件加工领域，特别涉及一种金刚石微器件内部石墨化层去除方法。
技术介绍
1、金刚石微器件，因其出色的硬度、导热性和化学稳定性，在高精度加工、光学、电子和生物医学等领域具有广泛的应用。然而，金刚石微器件在制造和使用过程中，其内部可能形成石墨化层，这不仅降低了器件的性能，还可能引发短路等故障，从而限制了金刚石微器件的进一步应用。
2、石墨化层的存在对金刚石微器件的性能和使用寿命构成了严重挑战。传统的去除石墨化层的方法，如机械研磨和化学腐蚀，往往效率低下，难以彻底去除石墨化层，同时还会对金刚石基材造成损伤。此外，这些方法通常需要复杂的操作步骤和昂贵的设备，增加了制造成本和时间。而纳米电解技术利用纳米电解颗粒的高活性和大比表面积，通过电解过程实现对石墨化层的高效、选择性去除。与传统的去除方法相比，纳米电解技术能在较短时间内彻底去除石墨化层，且对金刚石基材的损伤极小，且操作简单，不需要复杂的设备和繁琐的步骤，降低了制造成本，还具有环保性，减少了化学腐蚀剂的使用，降低了环境污染。
技术实...
【技术保护点】
1.一种金刚石微器件内部石墨化层去除方法，其特征是：包括以下步骤：步骤一：准备纳米电解液，步骤二：将金刚石微器件浸泡于纳米电解液中，搭载纳米电解技术实现对石墨化层的高效去除；步骤三：向电解液中加入对金刚石表面具有选择性腐蚀作用的添加剂；步骤四：设置电解液温度，电流密度和电解时间进行电解；步骤五：冷却金刚石微器件，清洗表面，确保去除电解产物和任何残留的石墨化层。
2.根据权利要求1所述的一种金刚石微器件内部石墨化层去除方法，其特征是：所述纳米电解液中的纳米电解颗粒为金属纳米颗粒、金属氧化物纳米颗粒、碳纳米材料、半导体纳米颗粒的一种或多种。
3.根...
【技术特征摘要】
1.一种金刚石微器件内部石墨化层去除方法，其特征是：包括以下步骤：步骤一：准备纳米电解液，步骤二：将金刚石微器件浸泡于纳米电解液中，搭载纳米电解技术实现对石墨化层的高效去除；步骤三：向电解液中加入对金刚石表面具有选择性腐蚀作用的添加剂；步骤四：设置电解液温度，电流密度和电解时间进行电解；步骤五：冷却金刚石微器件，清洗表面，确保去除电解产物和任何残留的石墨化层。
2.根据权利要求1所述的一种金刚石微器件内部石墨化层去除方法，其特征是：所述纳米电解液中的纳米电解颗粒为金属纳米颗粒、金属氧化物纳米颗粒、碳纳米材料、半导体纳米颗粒的一种或多种。
3.根据权利要求2所述的一种金刚石微器件内部石墨化层去除方法，其特征是：所述的金属纳米颗粒为铜、银、铂、金的一种或多种。
4.根据权利要求2所述的一种金刚石微器件内部石墨化层去除方法，其特征是：所述的金属氧化物纳米颗粒为二氧化钛、氧化锌、氧化铱一种或多种。
5.根据权利要求2所述的一种金刚石微器件内部石墨化层去除方法，其特...
【专利技术属性】
技术研发人员：佘丁顺，王青青，王尉，岳文，康嘉杰，孟德忠，
申请(专利权)人：中国地质大学北京，
类型：发明
国别省市：
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