【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于碳化硅打磨，涉及一种用于碳化硅加工的打磨装置及其打磨方法。
技术介绍
1、碳化硅(sic)是一种由碳元素和硅元素组成的无机化合物半导体材料，其具有高硬度(莫氏硬度高达9.5，仅次于金刚石)、高熔点、高化学稳定性等特点，由于上述优异的物理和化学性质，碳化硅被广泛应用于高功率电子、光电子、车载电子、航空航天电子等领域，特别是在功率器件、高频器件、以及耐高温高压的电力电子设备中，碳化硅因其出色的性能而受到青睐。
2、而碳化硅在使用前，需要对其表面进行打磨抛光，保持其表面的平整性，打磨时，需要使用到打磨装置，打磨时，还会产生较多的粉尘，因此现有设备在使用时，通常会对打磨的粉尘进行过滤，避免污染空气，而单次过滤时，会存在较细微的粉尘通过滤网飘散出来，人们不易发现，并会对人体造成伤害以及污染环境，因此我们提出了一种用于碳化硅加工的打磨装置及其打磨方法，用于解决上述所提出的问题。
技术实现思路
1、有鉴于此，本专利技术为了解决单次过滤时，会存在较细微的粉尘通过滤网飘散出来，人们...
【技术保护点】
1.一种用于碳化硅加工的打磨装置，包括箱体(1)，其特征在于，所述箱体(1)的两侧外壁均固定连接有固定架(2)，两个固定架(2)之间滑动连接有滑动架(3)，滑动架(3)的底部固定连接有第一导轨(4)，第一导轨(4)的底部滑动连接有第一滑块(12)，第一滑块(12)的底部安装有打磨碳化硅用的打磨组件；
2.根据权利要求1所述的一种用于碳化硅加工的打磨装置，其特征在于，所述打磨组件包括安装架(14)，安装架(14)的一侧开设有贯穿的滑道(18)，滑道(18)内滑动连接有第二滑块(19)，第二滑块(19)的一侧转动连接有滑动辊(17)，所述第二滑块(19)与安装...
【技术特征摘要】
1.一种用于碳化硅加工的打磨装置，包括箱体(1)，其特征在于，所述箱体(1)的两侧外壁均固定连接有固定架(2)，两个固定架(2)之间滑动连接有滑动架(3)，滑动架(3)的底部固定连接有第一导轨(4)，第一导轨(4)的底部滑动连接有第一滑块(12)，第一滑块(12)的底部安装有打磨碳化硅用的打磨组件；
2.根据权利要求1所述的一种用于碳化硅加工的打磨装置，其特征在于，所述打磨组件包括安装架(14)，安装架(14)的一侧开设有贯穿的滑道(18)，滑道(18)内滑动连接有第二滑块(19)，第二滑块(19)的一侧转动连接有滑动辊(17)，所述第二滑块(19)与安装架(14)之间固定连接有弹簧(20)，所述安装架(14)的一侧转动连接有驱动辊(15)，驱动辊(15)与滑动辊(17)之间传动连接有打磨带(16)，所述安装架(14)的一侧固定连接有第二电机(21)，第二电机(21)输出轴的一端与驱动辊(15)相固定。
3.根据权利要求2所述的一种用于碳化硅加工的打磨装置，其特征在于，所述滑动架(3)的底部转动连接有螺纹杆(23)，螺纹杆(23)螺纹贯穿第一滑块(12)，所述滑动架(3)的一侧固定连接有第一电机(5)，第一电机(5)输出轴的一端与螺纹杆(23)相固定。
4.根据权利要求2所述的一种用于碳化硅加工的打磨装置，其特征在于，所述固定架(2)的一侧均固定连接有气缸(22)，气缸(22)活塞杆的一端均与滑动架(3)相固定。
5.根据权利要求1所述的一种用于碳化硅加工的打磨装置，其特征在于，所述第一滑块(12)的一侧固定连接有驱动架(13)，所述滑杆(9)滑动贯穿驱动架(13)。
6.根据权利要求1所述的一种用于碳化硅加工的打磨装置，其特征在于，所述第一导轨(4)的表面固定连接有气盒(24)，气盒(24)的一端固定安装有单向进气阀(25)，所述气盒(24)的一侧固定安装有单向出气阀(26)，所述安装架(14)的表面固定连接有贯穿的吹气管(28...
【专利技术属性】
技术研发人员：万超敏，朱宁，
申请(专利权)人：江苏世能新能源科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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