单管半导体激光二极管密集排列光束整形耦合装置制造方法及图纸

技术编号:43280200 阅读:26 留言:0更新日期:2024-11-12 16:04
本发明专利技术提供一种单管半导体激光二极管密集排列光束整形耦合装置,涉及激光器件领域,包括:半导体阵列激光器,被配置为发射第一光束阵列;准直系统,设置在半导体阵列激光器光束出射光路上,被配置为对第一光束阵列的快慢轴准直,得到第二光束阵列;缩束系统,设置在准直系统光束出射光路上,被配置为缩小第二光束阵列快轴光斑,得到第三光束阵列;快慢轴转换系统,设置在缩束系统光束出射光路上,被配置为将第三光束阵列快慢轴旋转90度,得到第四光束阵列;扩束系统,设置在快慢轴转换系统光束出射光路上,被配置为扩大第四光束阵列慢轴光斑,得到第五光束阵列;聚焦系统,设置在快慢轴转换系统光束出射光路上,被配置为对第五光束阵列聚焦。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及激光器件,尤其涉及一种单管半导体激光二极管密集排列光束整形耦合装置


技术介绍

1、现有技术中,大致有两种半导体激光二极管整形耦合方式,一种是并排的半导体激光二极管长条(bar条)先做快轴准直,再用柱面镜阵列做每一个二极管的慢轴压缩,此类激光器因排列过于紧密,如果要光斑之间不相互干扰,慢轴准直的柱面镜阵列慢轴焦距不能做的大,这样就导致耦合时慢轴方向的焦点光斑大。鉴于这种整形耦合方式的明显缺点,发展了另一种bar条整形耦合方式,即先将bar条的各二极管做快轴准直,用一个快慢轴转换镜片组把bar条中的每一个光斑的快慢轴转90度,让bar条的光斑重新排列,再将慢轴做准直,这种整形方式解决了聚焦光斑大的问题。

2、然而,上述两类整形方式存在一些问题:激光芯片排列过于紧密,随着单芯片的功率增大,散热困难;各环节的光路调试必须加电点亮bar条,但是一些特殊的半导体材料对工作和使用环境要求严苛,在没有合适保护气体和良好无尘环境的情况下裸露着加电点亮bar条,必然会导致bar条光功率衰减甚至失效。快轴准直时,快轴准直镜片离芯片的距离过短,大部分都本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种单管半导体激光二极管密集排列光束整形耦合装置,其特征在于,包括:

2.根据权利要求1所述的单管半导体激光二极管密集排列光束整形耦合装置,其特征在于,所述半导体阵列激光器,包括:

3.根据权利要求1所述的单管半导体激光二极管密集排列光束整形耦合装置,其特征在于,所述准直系统包括:球面镜透镜阵列、非球面镜透镜阵列中的一种,被配置为对所述第一光束阵列的快轴和慢轴进行同时准直。

4.根据权利要求1所述的单管半导体激光二极管密集排列光束整形耦合装置,其特征在于,所述准直系统被配置为对所述第一光束阵列的快轴和慢轴分别准直;

5.根据权利要求1所...

【技术特征摘要】

1.一种单管半导体激光二极管密集排列光束整形耦合装置,其特征在于,包括:

2.根据权利要求1所述的单管半导体激光二极管密集排列光束整形耦合装置,其特征在于,所述半导体阵列激光器,包括:

3.根据权利要求1所述的单管半导体激光二极管密集排列光束整形耦合装置,其特征在于,所述准直系统包括:球面镜透镜阵列、非球面镜透镜阵列中的一种,被配置为对所述第一光束阵列的快轴和慢轴进行同时准直。

4.根据权利要求1所述的单管半导体激光二极管密集排列光束整形耦合装置,其特征在于,所述准直系统被配置为对所述第一光束阵列的快轴和慢轴分别准直;

5.根据权利要求1所述的单管半导体激光二极管密集排列光束整形耦合装置,其特征在于,所述缩束系统包括:

6.根据权利要求5所述的单管半导体激光二极管密集排列光束整形耦合装置,其特征在于,所述第一镜片包括柱面镜、柱面微透镜阵列、非球面柱面镜、柱面透镜组、柱面镜与非球面镜的透镜组、非球面透镜组中的其中之一;

7.根据权利要求1所述的单管半导体激光二极管密集排列光束整形耦合装置,其特征在于,所述快慢轴转换系统包括柱面镜对、非球面镜对、阶梯反射镜、微片棱镜堆中的...

【专利技术属性】
技术研发人员:尹亚铁
申请(专利权)人:北京普华美光电技术有限公司
类型:发明
国别省市:

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