【技术实现步骤摘要】
本技术涉及半导体设备，尤其是指一种物料盒净化机构、装置及半导体设备。
技术介绍
1、在生产过程中，物料盒常用于收纳或转运物料。当物料盒被用于装载晶圆时，其作为晶圆盒在半导体生产中起到放置和输送晶圆的作用，为了简化运输和尽可能降低被污染的风险，芯片制造商通常利用晶圆盒来搬运和储存晶圆。在现有技术中，半导体设备包括前端模块和吹扫装置，前端模块具有微环境，并设置有用于承载晶圆盒的承载台。
2、但是，在现有技术中，由于吹扫装置与晶圆盒之间为互相独立的，由此当需要进行吹扫时，晶圆盒需要转移至固定位置，通过人工方式进行吹扫和转移操作，效率较为低下，从而使得整个工序较为繁琐，同时增加了作业人员的工作量及人力投入。
技术实现思路
1、为此，本技术所要解决的技术问题在于克服现有技术中的不足，提供一种物料盒净化机构、装置及半导体设备，其能够实现批量对物料盒进行吹扫，从而实现净化，同时本技术使用便利，无需频繁装卸，能够简化工序，并减少作业人员的投入。
2、为解决上述技术问题，本技术提供了...
【技术保护点】
1.一种物料盒净化机构，其特征在于：包括，
2.根据权利要求1所述的一种物料盒净化机构，其特征在于：所述支架组件设有两个及以上时，所述进气单元还包括至少一个进气分管，所述出气单元还包括至少一个出气分管，每个所述支架组件配置为与所述进气分管和所述出气分管相连，其中，所述进气分管配置为一端与所述进气主管相连、另一端与所述第一进气口相连，所述出气分管配置为一端与所述出气主管相连、另一端与所述第一出气口相连。
3.根据权利要求1或2所述的一种物料盒净化机构，其特征在于：所述基座上还设有用于对所述待净化物料盒进行定位的定位件。
4.根据权利要...
【技术特征摘要】
1.一种物料盒净化机构，其特征在于：包括，
2.根据权利要求1所述的一种物料盒净化机构，其特征在于：所述支架组件设有两个及以上时，所述进气单元还包括至少一个进气分管，所述出气单元还包括至少一个出气分管，每个所述支架组件配置为与所述进气分管和所述出气分管相连，其中，所述进气分管配置为一端与所述进气主管相连、另一端与所述第一进气口相连，所述出气分管配置为一端与所述出气主管相连、另一端与所述第一出气口相连。
3.根据权利要求1或2所述的一种物料盒净化机构，其特征在于：所述基座上还设有用于对所述待净化物料盒进行定位的定位件。
4.根据权利要求1或2所述的一种物料盒净化机构，其特征在于：所述进气单元还包括设置于所述进气主管的气源处理件，所述气源处理件包括用于调节进气压力的第一阀体。
5.根据权利要求1或2所述的一种物料盒净化机构，其特征在于：所述进气单元还包括设置于所述基座的第一控制阀，所述第一控制阀与所述第一进气口相连、控制所述第一进气口的开闭。
6.根据权利要求1或2所述的一种物料盒净化机构...
【专利技术属性】
技术研发人员：张磊，
申请(专利权)人：成川科技苏州有限公司，
类型：新型
国别省市：
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