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本技术涉及一种物料盒净化机构、装置及半导体设备，包括支架单元，其包括至少一个用于承载待净化物料盒的支架组件，支架组件包括基座、设置于所述基座上的容纳槽、以及设置于基座的第一进气口和第一出气口；进气单元，进气主管的一端连接至气源、另一端与所述...
该专利属于成川科技（苏州）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过成川科技（苏州）有限公司授权不得商用。

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