电子显微镜自动对焦跟随处理方法、装置及其应用制造方法及图纸

本申请提出了电子显微镜自动对焦跟随处理方法、装置及其应用，包括对焦点选取：初始样品拍照，获取整张样品图像，将样品图像转换为灰度图，并识别样本区域，在样本区域内选择多个对焦点；粗对焦：选取一个中心附近的点作为粗对焦点，并从预设的极限位置开始逐步调整焦距直至找到清晰图像；细对焦：在粗对焦成功的基础上进一步微调对焦，以获得更清晰的图像；拟合平面：使用细对焦成功的对焦点的三维坐标拟合出一个平面，该平面上的点代表清晰对焦的位置；跟随模式：启动跟随模式，实时跟踪样本的移动；当样本的横坐标和/或纵坐标发生变化后，调整电子显微镜的z轴使其调整到相应位置以保持对焦清晰。可帮助用户快速定位到清晰的位置。

【技术实现步骤摘要】

本申请涉及电子显微镜领域，特别是一种涉及电子显微镜自动对焦跟随处理方法、装置及其应用。

技术介绍

1、在现有的电子显微镜技术中，用户通常需要手动调整显微镜的焦点以获得最佳的图像质量。这一过程不仅耗时而且对于需要频繁改变观察位置的应用来说尤其不便。例如，在观察复杂的生物样本或材料结构时，操作者可能需要不断地在样本的不同区域之间切换。每更换一次观察位置，就需要重新进行对焦，以找到该位置最清晰的图像。这种重复的手动操作不仅效率低下，还可能导致操作者疲劳，进而影响观察结果的准确性和一致性。

2、此外，手动对焦过程中的微小误差可能会导致图像质量下降，从而影响后续的数据分析和解释。因此，现有技术存在改进的空间，特别是对于那些需要高精度和快速定位能力的应用场景。

3、鉴于上述问题，本专利技术旨在提供一种改进的电子显微镜自动对焦跟随处理方法、装置及其应用，其能够在用户指定的任何位置自动实现最佳对焦，从而显著提高观察效率和准确性。

技术实现思路

1、本申请实施例提供了电子显微镜自动对焦跟随处理方法、装置本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.电子显微镜自动对焦跟随处理方法，其特征在于，包括以下步骤：

2.如权利要求1所述的电子显微镜自动对焦跟随处理方法，其特征在于，S00步骤中，使用均匀分布算法在样本区域内选择多个对焦点。

3.如权利要求1所述的电子显微镜自动对焦跟随处理方法，其特征在于，S10步骤中，若未成功对焦，则选择第一个选取的点相邻的点作为粗对焦点，并从预设的极限位置开始逐步调整焦距直至找到清晰图像。

4.如权利要求1-3任意一项所述的电子显微镜自动对焦跟随处理方法，其特征在于，S40步骤中，利用PID算法调整电子显微镜的z轴使其调整到相应位置以保持对焦清晰。

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【技术特征摘要】

1.电子显微镜自动对焦跟随处理方法，其特征在于，包括以下步骤：

2.如权利要求1所述的电子显微镜自动对焦跟随处理方法，其特征在于，s00步骤中，使用均匀分布算法在样本区域内选择多个对焦点。

3.如权利要求1所述的电子显微镜自动对焦跟随处理方法，其特征在于，s10步骤中，若未成功对焦，则选择第一个选取的点相邻的点作为粗对焦点，并从预设的极限位置开始逐步调整焦距直至找到清晰图像。

4.如权利要求1-3任意一项所述的电子显微镜自动对焦跟随处理方法，其特征在于，s40步骤中，利用pid算法调整电...

【专利技术属性】
技术研发人员：邝国涛，靳杰，农建华，黄强，王子晗，
申请(专利权)人：深圳市生强科技有限公司，
类型：发明
国别省市：