下载电子显微镜自动对焦跟随处理方法、装置及其应用的技术资料

文档序号:43202221

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本申请提出了电子显微镜自动对焦跟随处理方法、装置及其应用,包括对焦点选取:初始样品拍照,获取整张样品图像,将样品图像转换为灰度图,并识别样本区域,在样本区域内选择多个对焦点;粗对焦:选取一个中心附近的点作为粗对焦点,并从预设的极限位置开始逐...
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