【技术实现步骤摘要】
本技术涉及旋涂治具，尤其涉及一种旋涂软基材治具。
技术介绍
1、在纳米压印过程中，子模用于压印过程，在加工超高结构时，压印后结构内部常出现空气残留形成气泡在结构内部，调整压印参数时，必须将压印效率调的非常慢才能将结构填充完整，为了解决填充困难和压印效率低的问题，需要对软子模具进行预填充，解决填充困难问题，提升压印速度，子模为软基材，填充时需要用到旋涂软膜治具。
技术实现思路
1、鉴于上述现有子模用于压印过程中，软子模具填充困难的问题，提出了本技术。
2、因此，本技术目的是提供一种旋涂软基材治具，其目的在于：第一治具表面均匀分布吸真空口，保障吸真空的强度足够。
3、为解决上述技术问题，本技术提供如下技术方案：一种旋涂软基材治具，其包括第一治具，所述第一治具的一侧与第二治具对应的一侧相互搭接，所述第一治具的另一侧开设有三个沉头开口，所述第一治具的一侧开设有若干个吸真空口，所述第一治具的另一侧开设有吸真通道，若干个吸真空口与同一个吸真通道相连通，所述第二治具的另一侧卡接有...
【技术保护点】
1.一种旋涂软基材治具，其特征在于：包括第一治具(1)，所述第一治具(1)的一侧与第二治具(2)对应的一侧相互搭接，所述第一治具(1)的另一侧开设有三个沉头开口(3)，所述第一治具(1)的一侧开设有若干个吸真空口(4)，所述第一治具(1)的另一侧开设有吸真通道(5)，若干个吸真空口(4)与同一个吸真通道(5)相连通，所述第二治具(2)的另一侧卡接有连接头(6)，所述连接头(6)的一侧开设有吸真空槽(7)，所述连接头(6)通过吸真空槽(7)与吸真通道(5)相连通，所述连接头(6)的一侧固定连接有若干个限位杆(9)，所述第二治具(2)的另一侧开设有限位槽(8)，所述连接头...
【技术特征摘要】
1.一种旋涂软基材治具，其特征在于：包括第一治具(1)，所述第一治具(1)的一侧与第二治具(2)对应的一侧相互搭接，所述第一治具(1)的另一侧开设有三个沉头开口(3)，所述第一治具(1)的一侧开设有若干个吸真空口(4)，所述第一治具(1)的另一侧开设有吸真通道(5)，若干个吸真空口(4)与同一个吸真通道(5)相连通，所述第二治具(2)的另一侧卡接有连接头(6)，所述连接头(6)的一侧开设有吸真空槽(7)，所述连接头(6)通过吸真空槽(7)与吸真通道(5)相连通，所述连接头(6)的一侧固定连接有若干个限位杆(9)，所述第二治具(2)的另一侧开设有限位槽(8)，所述连接头(6)和若干个限位杆(9)均卡接在限位槽(8)内。
2.根据权利要求1所述的旋涂软基材治具，其特征在于：所述吸真空口(4)三个设置为一组，且吸真空口(4)呈环形阵列分布在第一治具(1)的另一侧，所述吸真空口(4)呈圆柱形。
3.根据权利要求1所述的旋涂软基材治具，其特征在于：所述沉头开口(3)呈矩形，且三个沉头开口(3)呈环形阵列分布在第一治具(1)的另一侧。
4.根据权利要求1所述的旋涂软基材治具，其特征在于：所述吸真空口(4)大小为0.5mm，间距3mm*1mm，开口0.5mm。
5.根据权利要求1所述的旋涂软基材治具，其特征在于：所述第一治具(1)和...
【专利技术属性】
技术研发人员：戴雷雷，颜志超，王伟俊，
申请(专利权)人：苏州苏纳光电有限公司，
类型：新型
国别省市：
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