温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本技术公开了一种旋涂软基材治具，包括上治具，所述上治具的一侧与第二治具对应的一侧相互搭接，所述上治具的另一侧开设有三个沉头开口，所述上治具的一侧开设有若干个吸真空口。本技术提供的旋涂软基材治具，通过吸真空槽对吸真通道进行吸真空操作，上治具表...
该专利属于苏州苏纳光电有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州苏纳光电有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。