【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于印刷比色，特别是涉及一种tcs鼓泡输送装置。
技术介绍
1、tcs鼓泡技术指的是三氯硅烷(trichlorosilane，tcs)在硅生产过程中的气液反应技术。这种技术的主要应用是在半导体和光伏产业，因为高纯度多晶硅是生产太阳能电池和半导体器件的关键材料。tcs鼓泡技术可以有效提高生产效率，并降低生产成本，同时确保产品的高纯度和高质量。
2、鼓泡反应是tcs鼓泡技术中的一个关键步骤，它是指将三氯硅烷气体通过一种特定的液体介质(通常是硅烷或硅的化合物)进行鼓泡，形成气泡并使其在液体中反应。鼓泡反应通常会在专门的反应容器中进行，这个过程需要将三氯硅烷气体输送至反应容器中，但是现有技术存在一些缺陷和不足有待改进：(1)在将三氯硅烷气体输送至反应容器前缺少有效的过滤措施，使得三氯硅烷气体中残留有杂质，如固体颗粒、油雾和其他污染物，这些杂质如果不去除，不仅会影响反应效率和产品质量，同时也会对反应容器和其他设备造成磨损和腐蚀，从而降低设备的使用寿命；(2)三氯硅烷气体在输送至反应容器中后，分布不够均匀，容易导致局部反应过度或不足，并且由于气液接触面积有限，三氯硅烷气体与液态介质的反应效率不高，从而导致生产效率低；(3)三氯硅烷气体在输送至反应容器并与液态介质发生反应后，生成的高纯度多晶硅等产物往往会沉积在反应容器的底部，无法快速取出，时间一长便会粘附在反应容器的底部，不仅造成了产物的浪费，同时也不便于对反应容器进行清洗。因此，针对以上问题，本专利技术提供的一种tcs鼓泡输送装置具有重要意义。
1、本专利技术提供了一种tcs鼓泡输送装置，通过第一过滤机构和第二过滤机构可在输送前对三氯硅烷气体进行多次过滤，以便有效去除三氯硅烷气体中残留的杂质，不仅提高了反应效率和产品质量，同时也避免了对反应容器和其他设备造成磨损和腐蚀，从而延长了设备的使用寿命；通过气泡发生机构可将输送至反应罐内的三氯硅烷气体分散成小气泡，以使其与液态介质发生反应，输送时可有效扩大小气泡的生成范围，使其能够均匀扩散至整个反应罐内，并与液态介质充分接触，从而有效避免了局部反应过度或不足，同时也大大提高了三氯硅烷气体与液态介质的反应效率，继而提高了多晶硅等产物的生产效率；通过反应生成的多晶硅等产物会下沉并集中在回收筒的底部，通过提手可将回收筒连同底部的反应产物一起从反应罐内快速取出，从而有效避免了反应产物粘附在反应罐的底部，综上解决了
技术介绍
中的问题。
2、为解决上述技术问题，本专利技术是通过以下技术方案实现的：
3、本专利技术的一种tcs鼓泡输送装置，包括底座，所述底座上分别固定连接有固定架和反应罐，所述固定架为l形，且所述固定架上分别安装有第一过滤机构和第二过滤机构，所述反应罐的横截面为圆形，其内部设置有气泡发生机构，且所述反应罐的内部放入有回收筒，所述回收筒的顶端边缘处固定连接有若干个提手，且所述回收筒的底部开设有若干个通孔，所述反应罐的顶部安装有顶盖，所述顶盖的顶部固定连接有出气管，所述出气管上安装有出气阀；
4、所述第一过滤机构包括第一过滤仓，所述第一过滤仓固定连接在固定架的侧壁，其底部和顶部分别固定连接有进气管和导气管，所述进气管和导气管的一端管口均与第一过滤仓的内腔相连通，且所述进气管上安装有进气阀，所述第一过滤仓上安装有第一仓盖，所述第一仓盖上固定连接有若干个滤网；
5、所述第二过滤机构包括第二过滤仓，所述第二过滤仓的横截面为圆形，其顶部安装有第二仓盖，且所述第二过滤仓的侧壁开设有若干个分流孔，所述第二过滤仓的侧壁固定连接有导气仓，所述导气仓为环形，其内部为空心结构，且所述导气仓的内壁开设有若干个导气孔，所述导气管的另一端管口固定连接在导气仓的侧壁并与导气仓的内腔相连通，所述第二过滤仓的底部固定连接有输气管，所述输气管贯穿固定架的顶部，其一端管口与第二过滤仓的内腔相连通；
6、所述气泡发生机构包括多孔板，所述多孔板固定连接在反应罐的底端内壁，且所述多孔板的下方与反应罐的底部之间形成有导流腔，所述输气管的另一端管口固定连接在反应罐的侧壁并与导流腔相连通，所述多孔板的顶部设置有若干个气泡喷嘴，所述气泡喷嘴的顶端侧壁开设有若干个气泡孔。
7、进一步地，所述滤网与第一过滤仓均为矩形，且所述滤网的长度和宽度分别与第一过滤仓的内壁宽度和高度对应相等。
8、进一步地，所述第一过滤仓的开口端面四个角处均开设有插槽，所述第一仓盖的四个角处均固定连接有插杆，所述插杆与插槽的横截面均为圆形，其直径相等，且每个所述插杆的中心与每个插槽的中心均一一对应。
9、进一步地，所述导气孔与分流孔分别沿导气仓和第二过滤仓的圆周方向呈等距环形分布，所述导气孔与分流孔的数量相同，直径相等，且每个所述导气孔的中心与每个分流孔的中心均一一对应。
10、进一步地，所述气泡喷嘴为圆柱形，其内部为空心结构，且所述气泡喷嘴的底部贯穿多孔板，所述气泡孔沿气泡喷嘴的圆周方向呈等距环形分布。
11、进一步地，所述回收筒的横截面为圆形，其外径与反应罐的内径相等，所述通孔的数量与气泡喷嘴相同，其孔径与气泡喷嘴的外径相等，且每个所述通孔的中心与每个气泡喷嘴的中心均一一对应。
12、进一步地，所述顶盖的底部固定连接有密封块，所述出气管的一端管口分别贯穿顶盖和密封块并与反应罐的内腔相连通，所述密封块的横截面为圆形，其直径与反应罐的内径相等，且所述密封块的侧壁表面设置有一层密封圈。
13、一种tcs鼓泡输送装置的使用方法，采用上述一种tcs鼓泡输送装置实现，包括如下步骤：
14、s1、打开进气阀将三氯硅烷气体通入第一过滤仓，三氯硅烷气体进入第一过滤仓后会与多个滤网相接触，此时通过滤网可有效吸附三氯硅烷气体中的细小颗粒杂质，以起到初步过滤的作用；
15、s2、经过初步过滤后的三氯硅烷气体通过导气管进入导气仓，并分别通过各个导气孔和分流孔进入第二过滤仓，三氯硅烷气体进入第二过滤仓后会与第二过滤仓内的活性炭相接触，此时利用活性炭可有效去除三氯硅烷气体中的油雾、水分和有机杂质，以起到二次过滤的作用；
16、s3、经过二次过滤后的三氯硅烷气体通过输气管进入导流腔，并分别进入各个气泡喷嘴，三氯硅烷气体进入气泡喷嘴后通过各个气泡孔导出并被分散成小气泡，之后小气泡会在液态介质中上升，上升过程中三氯硅烷气体与液态介质发生发应，以得到所需的高纯度多晶硅等产物，通过打开出气阀可将反应过程中产生的副产品气体沿着出气管排出，以便进行后续处理；
17、s4、反应生成的多晶硅等产物会下沉并集中在回收筒的底部，之后打开顶盖并通过提手将回收筒连同底部的多晶硅等反应产物一起从反应罐内快速取出即可。
18、本专利技术相对于现有技术包括有以下有益效果：
19、(1)本专利技术中的一种tcs鼓泡输送装置在使用时，通过第一过滤机构和第二过滤机构可在输送前对三氯硅烷气体进行多次过滤，以便有效去除三氯硅烷气体中残留的杂质，不仅提高了反应效本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种TCS鼓泡输送装置，其特征在于，包括底座，所述底座上分别固定连接有固定架和反应罐，所述固定架为L形，且所述固定架上分别安装有第一过滤机构和第二过滤机构，所述反应罐的横截面为圆形，其内部设置有气泡发生机构，且所述反应罐的内部放入有回收筒，所述回收筒的顶端边缘处固定连接有若干个提手，且所述回收筒的底部开设有若干个通孔，所述反应罐的顶部安装有顶盖，所述顶盖的顶部固定连接有出气管，所述出气管上安装有出气阀；
2.根据权利要求1所述的一种TCS鼓泡输送装置，其特征在于，所述滤网与第一过滤仓均为矩形，且所述滤网的长度和宽度分别与第一过滤仓的内壁宽度和高度对应相等。
3.根据权利要求1所述的一种TCS鼓泡输送装置，其特征在于，所述第一过滤仓的开口端面四个角处均开设有插槽，所述第一仓盖的四个角处均固定连接有插杆，所述插杆与插槽的横截面均为圆形，其直径相等，且每个所述插杆的中心与每个插槽的中心均一一对应。
4.根据权利要求1所述的一种TCS鼓泡输送装置，其特征在于，所述导气孔与分流孔分别沿导气仓和第二过滤仓的圆周方向呈等距环形分布，所述导气孔与分流孔的数
5.根据权利要求1所述的一种TCS鼓泡输送装置，其特征在于，所述气泡喷嘴为圆柱形，其内部为空心结构，且所述气泡喷嘴的底部贯穿多孔板，所述气泡孔沿气泡喷嘴的圆周方向呈等距环形分布。
6.根据权利要求1所述的一种TCS鼓泡输送装置，其特征在于，所述回收筒的横截面为圆形，其外径与反应罐的内径相等，所述通孔的数量与气泡喷嘴相同，其孔径与气泡喷嘴的外径相等，且每个所述通孔的中心与每个气泡喷嘴的中心均一一对应。
7.根据权利要求1所述的一种TCS鼓泡输送装置，其特征在于，所述顶盖的底部固定连接有密封块，所述出气管的一端管口分别贯穿顶盖和密封块并与反应罐的内腔相连通，所述密封块的横截面为圆形，其直径与反应罐的内径相等，且所述密封块的侧壁表面设置有一层密封圈。
8.根据权利要求1所述的一种TCS鼓泡输送装置的使用方法，其特征在于，采用如权利要求1-7任一项所述的一种TCS鼓泡输送装置实现，包括如下步骤：
...【技术特征摘要】
1.一种tcs鼓泡输送装置，其特征在于，包括底座，所述底座上分别固定连接有固定架和反应罐，所述固定架为l形，且所述固定架上分别安装有第一过滤机构和第二过滤机构，所述反应罐的横截面为圆形，其内部设置有气泡发生机构，且所述反应罐的内部放入有回收筒，所述回收筒的顶端边缘处固定连接有若干个提手，且所述回收筒的底部开设有若干个通孔，所述反应罐的顶部安装有顶盖，所述顶盖的顶部固定连接有出气管，所述出气管上安装有出气阀；
2.根据权利要求1所述的一种tcs鼓泡输送装置，其特征在于，所述滤网与第一过滤仓均为矩形，且所述滤网的长度和宽度分别与第一过滤仓的内壁宽度和高度对应相等。
3.根据权利要求1所述的一种tcs鼓泡输送装置，其特征在于，所述第一过滤仓的开口端面四个角处均开设有插槽，所述第一仓盖的四个角处均固定连接有插杆，所述插杆与插槽的横截面均为圆形，其直径相等，且每个所述插杆的中心与每个插槽的中心均一一对应。
4.根据权利要求1所述的一种tcs鼓泡输送装置，其特征在于，所述导气孔与分流孔分别沿导气仓和第二过滤仓的圆周方向...
【专利技术属性】
技术研发人员：岳军，
申请(专利权)人：上海赋利电子科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。