一种自动触发抽真空的装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种自动触发抽真空的装置，包括BAV微漏气动阀、CV单向阀和VG真空发生器，所述BAV微漏气动阀、CV单向阀和VG真空发生器依次串接，所述VG真空发生器的吸气口与危险气体输送设备的气体输送管连接，所述危险气体输送设备的气体输送管上设有PT压力传感器和AV气动阀，所述AV气动阀位于PT压力传感器和VG真空发生器之间。本实用新型专利技术与现有技术相比的优点是：本实用新型专利技术的自动触发抽真空的装置，通过PT压力传感器数值的变动触发警报到PLC控制器，通过PLC控制器控制打开AV气动阀及BAV微漏气动阀进行排气，确保设备阀门处于安全状态，并且能够及时有效发现此时阀门出现故障。障。障。

【技术实现步骤摘要】
一种自动触发抽真空的装置


[0001]本技术涉及抽真空装置，尤其涉及一种自动触发抽真空的装置，主要应用于半导体、光电、光伏、新能源等行业危险气体输送设备内。

技术介绍

[0002]目前，危险气体输送设备内部未配置AV气动阀，当有PT压力传感器前端阀门发生内漏时，泄露气体可以随时直接通过BAV微漏气动阀、CV单向阀及VG真空发生器通过TUBE排空管排空至后端尾气处理设备，不能在第一时间发现设备阀门故障，保障设备安全温度运行。因此，研发一种自动触发抽真空的装置，成为本领域技术人员亟待解决的问题。

技术实现思路

[0003]本技术是为了解决上述不足，提供了一种自动触发抽真空的装置。
[0004]本技术的上述目的通过以下的技术方案来实现：一种自动触发抽真空的装置，包括BAV微漏气动阀(带微漏功能的气动阀)、CV单向阀和VG真空发生器，所述BAV微漏气动阀、CV单向阀和VG真空发生器依次串接，所述VG真空发生器的吸气口与危险气体输送设备的气体输送管连接，其特征在于：所述危险气体输送设备的气体输送管上设有PT压力传感器和AV气动阀，所述AV气动阀位于PT压力传感器和VG真空发生器之间。
[0005]进一步地，所述PT压力传感器连接PLC控制器，PLC控制器通过YV电磁阀控制AV气动阀及BAV微漏气动阀开启和关闭。
[0006]本技术与现有技术相比的优点是：本技术的自动触发抽真空的装置，通过PT压力传感器数值的变动触发警报到PLC控制器，通过PLC控制器控制打开AV气动阀及BAV微漏气动阀进行排气，确保设备阀门处于安全状态，并且能够及时有效发现此时阀门出现故障。
附图说明
[0007]图1是本技术的逻辑控制图。
具体实施方式
[0008]下面结合附图对本技术进一步详述。
[0009]如图1所示，一种自动触发抽真空的装置，包括BAV微漏气动阀(带微漏功能的气动阀)、CV单向阀和VG真空发生器，所述BAV微漏气动阀、CV单向阀和VG真空发生器依次串接，所述VG真空发生器的吸气口与危险气体输送设备的气体输送管连接，所述危险气体输送设备的气体输送管上设有PT压力传感器和AV气动阀，所述AV气动阀位于PT压力传感器和VG真空发生器之间；所述PT压力传感器连接PLC控制器，将PT压力传感器将数值信号传输给PLC控制器，PLC控制器通过YV电磁阀控制AV气动阀及BAV微漏气动阀开启和关闭。
[0010]如图1所示，工作时，设备在正常状态下AV气动阀、BAV微漏气动阀处于常闭状态，
PT压力传感器读数为
‑
14.7PIS。当PT压力传感器数值出现变动，到达设定值(假设为5PIS)，设备触发警报到PLC控制器，PLC控制器接收到警报信息，通过YV电磁阀打开AV气动阀及BAV微漏气动阀，氮气通过BAV微漏气动阀和CV单向阀进入形成正压气源，同时，利用VG真空发生器向TUBE排空管喷出高速喷射气体，形成卷吸气流，在卷吸作用下形成负压，使得与VG真空发生器连接的管道内的泄露气体被吸走，通过TUBE排空管排至后端尾气处理设备。
[0011]以上所述仅为本技术的实施例，并非因此限制本技术的专利范围，凡是利用本技术说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换，或直接或间接运用在其他相关的
，均同理包括在本技术的专利保护范围内。
本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种自动触发抽真空的装置，包括BAV微漏气动阀、CV单向阀和VG真空发生器，所述BAV微漏气动阀、CV单向阀和VG真空发生器依次串接，所述VG真空发生器的吸气口与危险气体输送设备的气体输送管连接，其特征在于：所述危险气体输送设备的气体输送管上设有PT压...

【专利技术属性】
技术研发人员：岳军，
申请(专利权)人：上海赋利电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：