【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于卧式碳化炉，具体的说是一种卧式碳化硅外延炉。
技术介绍
1、外延炉一般具有反应室和用于对反应室进行上下料的传输室，两者之间依靠传输阀和法兰连接；在碳化硅外延反应过程中，反应室一般在1500～1700°c左右的高温环境下进行工作，而传输室一般是在常温下工作；传输室内的各零部件均不具备耐高温特性，故需要在反应室与传输室之间设置法兰和传输阀以隔绝反应室的高温传递至传输室中，法兰一般设计成水冷法兰以阻隔反应室内高温，但为了通过传输室对反应室进行上下料操作，需在法兰上设计上下料用的传输口，传输阀与传输口连接，用于改变传输口与传输室的连通状态。
2、目前现有技术中，现有的石英腔室中，由于腔室内筒和外筒通过高温熔融成一体式结构，根据现有的石英加工工艺而言，该种一体式结构在制造上有一定难度，并且在内外筒熔融处易出现残余应力集中现象，使得加工或者外延反应时由于温度升降容易产生裂纹或者突然爆裂；根据现有技术中的三根石英入水管以及三根石英出水管直接熔融焊接在外筒内壁上，也会使外筒极易发生裂纹，石英水管与外部水管直接通过接头卡紧，若夹...
【技术保护点】
1.一种卧式碳化硅外延炉，包括单层石英炉室一（11）及对称设置在单层石英炉室一（11）两侧中心表面上的密封法兰（12），活动搭接在密封法兰（12）外侧表面上的滑块（14），活动套接在滑块（14）、密封法兰（12）和单层石英炉室一（11）内侧壁面上的石英管（13），其特征在于：所述滑块（14）的外侧表面上固定安装有端口全防护挤压单元，所述端口全防护挤压单元包括固定连接在滑块（14）顶部表面上的定位套圈（141），所述定位套圈（141）的内侧壁面上可拆卸式安装有套筒（142），所述套筒（142）的内侧壁面上活动套接有推杆（144），所述推杆（144）的一端上固定连接有活动...
【技术特征摘要】
1.一种卧式碳化硅外延炉，包括单层石英炉室一（11）及对称设置在单层石英炉室一（11）两侧中心表面上的密封法兰（12），活动搭接在密封法兰（12）外侧表面上的滑块（14），活动套接在滑块（14）、密封法兰（12）和单层石英炉室一（11）内侧壁面上的石英管（13），其特征在于：所述滑块（14）的外侧表面上固定安装有端口全防护挤压单元，所述端口全防护挤压单元包括固定连接在滑块（14）顶部表面上的定位套圈（141），所述定位套圈（141）的内侧壁面上可拆卸式安装有套筒（142），所述套筒（142）的内侧壁面上活动套接有推杆（144），所述推杆（144）的一端上固定连接有活动套接在套筒（142）内侧壁面上的锥形盘（145），所述套筒（142）的内侧壁面且位于中间位置上固定连接有包裹在锥形盘（145）外侧表面上的扩张软套头（146），所述扩张软套头（146）的外侧表面固定连接有贴合软条二（147），所述套筒（142）的内侧壁面上设置有贴合软条一（143），所述扩张软套头（146）和套筒（142）的衔接位置处设置有限位槽（148）。
2.根据权利要求1所述的一种卧式碳化硅外延炉，其特征在于：所述密封法兰（12）的外侧表面上固定安装有水平定位单元，所述水平定位单元包括固定连接在单层石英炉室一（11）一侧表面上的固定台臂（122），所述单层石英炉室一（11）的一侧表面且位于固定台臂（122）的两侧边缘位置上固定连接有限位轨道（121），所述固定台臂（122）的顶部表面上固定连接有限位套壳（123），所述固定台臂（122）和限位套壳（123）的对接处活动套接有转盘（125），所述固定台臂（122）的外侧表面上活动套接有设置在转盘（125）内侧壁面上的螺纹杆（124），且所述螺纹杆（124）的一端上固定连接有闭合定位盖（126），一号闭合定位盖（126）的外侧表面活动套接在限位套壳（123）的内侧壁面，两组所述闭合定位盖（126）的内侧表面上固定连接有垫高硅胶条（127）。
3.根据权利要求2所述的一种卧式碳化硅外延炉，...
【专利技术属性】
技术研发人员：胡动力，王人松，石海洋，贾新旺，
申请(专利权)人：连科半导体有限公司，
类型：发明
国别省市：
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