【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于卧式碳化炉，具体的说是一种卧式碳化硅外延炉。
技术介绍
1、外延炉一般具有反应室和用于对反应室进行上下料的传输室，两者之间依靠传输阀和法兰连接；在碳化硅外延反应过程中，反应室一般在1500～1700°c左右的高温环境下进行工作，而传输室一般是在常温下工作；传输室内的各零部件均不具备耐高温特性，故需要在反应室与传输室之间设置法兰和传输阀以隔绝反应室的高温传递至传输室中，法兰一般设计成水冷法兰以阻隔反应室内高温，但为了通过传输室对反应室进行上下料操作，需在法兰上设计上下料用的传输口，传输阀与传输口连接，用于改变传输口与传输室的连通状态。
2、目前现有技术中，现有的石英腔室中，由于腔室内筒和外筒通过高温熔融成一体式结构，根据现有的石英加工工艺而言，该种一体式结构在制造上有一定难度，并且在内外筒熔融处易出现残余应力集中现象，使得加工或者外延反应时由于温度升降容易产生裂纹或者突然爆裂；根据现有技术中的三根石英入水管以及三根石英出水管直接熔融焊接在外筒内壁上，也会使外筒极易发生裂纹，石英水管与外部水管直接通过接头卡紧，若夹紧力过大，也会使石英水管口发生破裂。
3、为此，本专利技术提供一种卧式碳化硅外延炉。
技术实现思路
1、为了弥补现有技术的不足，解决
技术介绍
中所提出的至少一个技术问题。
2、本专利技术解决其技术问题所采用的技术方案是：本专利技术所述的一种卧式碳化硅外延炉，包括单层石英炉室一及对称设置在单层石英炉室一两侧中心表面上的密封法兰，活
3、优选的，所述密封法兰的外侧表面上固定安装有水平定位单元，所述水平定位单元包括固定连接在单层石英炉室一一侧表面上的固定台臂，所述单层石英炉室一的一侧表面且位于固定台臂的两侧边缘位置上固定连接有限位轨道，所述固定台臂的顶部表面上固定连接有限位套壳，所述固定台臂和限位套壳的对接处活动套接有转盘，所述固定台臂的外侧表面上活动套接有设置在转盘内侧壁面上的螺纹杆，且所述螺纹杆的一端上固定连接有闭合定位盖，一号闭合定位盖的外侧表面活动套接在限位套壳的内侧壁面，两组所述闭合定位盖的内侧表面上固定连接有垫高硅胶条。
4、优选的，所述单层石英炉室一的两侧表面上设置有炉室安装板，所述单层石英炉室一的内侧壁面且位于中间位置上固定连接有包裹在石英管外侧表面上的单层石英炉室二。
5、优选的，所述单层石英炉室一的内侧壁面且位于单层石英炉室二一侧边缘位置上固定连接有限位杆，所述限位杆的外侧表面上活动套接有包裹在单层石英炉室二外侧表面上的滑板。
6、优选的，所述滑板的外侧表面上设置有感应加热电源，所述感应加热电源的一侧表面上固定连接有包裹在单层石英炉室二外侧表面上的热场感应圈。
7、优选的，所述单层石英炉室一的外侧表面上设置有循环水口，所述单层石英炉室二的外侧表面上固定连接有穿过单层石英炉室一外侧表面上的真空抽口。
8、优选的，所述滑块的外侧表面活动套接在限位轨道的内侧壁面。
9、优选的，两组所述闭合定位盖的外侧表面上固定连接有卡接头，所述卡接头的外侧表面上活动套接有卡接锁扣。
10、优选的，所述卡接锁扣的一侧表面设置有螺纹伸缩杆，二号闭合定位盖的外侧表面上设置有挤压限位槽。
11、优选的，所述单层石英炉室一的两侧表面对称设置有摆动臂，所述摆动臂的一端上设置有活动搭接在挤压限位槽内侧壁面上的下压定位头。
12、本专利技术的有益效果如下：
13、1.本专利技术所述的一种卧式碳化硅外延炉，将石英管的一端对接到套筒的内侧壁面上，同时配合套筒内侧壁面上的限位槽对石英管的一端位置进行限定，同时配合套筒内侧壁面上的贴合软条一增加与石英管表面之间的摩擦力，套筒内圈一层的贴合软条一可以有效且均匀的覆盖在石英管的表面上，进而增加石英管与套筒之间在位置上的限定，使得石英管不会因为一端的重力而出现下坠倾斜，再通过推杆在套筒的内侧壁面上进行滑动，将推杆一端上的锥形盘在扩张软套头的内侧壁面上进行延伸滑动，进而对扩张软套头的表面向外侧进行扩张，进而将扩张软套头外侧表面上的贴合软条二紧密的贴合在石英管的一端内侧壁面上，利用扩张软套头的扩张角度可以对不同尺寸、半径、厚度的石英管进行有效卡接固定的效果；
14、2.本专利技术所述的一种卧式碳化硅外延炉，将石英管的一端对接到套筒的内侧壁面上，将石英管的另一端搭接在闭合定位盖的顶部表面上，配合闭合定位盖内侧壁面上的垫高硅胶条与石英管的表面相贴合，再通过人工手持便携式的水平仪对石英管的水平角度进行初步检测，若是石英管的水平角度出现偏移时，配合转盘在固定台臂和限位套壳之间的缝隙中进行转动，在限位套壳的限位下，使得转盘内侧壁面上的螺纹杆进行上下移动，进而对限位套壳内侧壁面上的闭合定位盖进行定向移动，使得闭合定位盖只能进行上下垂直移动，进而使得石英管只能进行上下垂直移动，不会因为石英管的一端在进行移动时会出现过多偏移，进而导致石英管在进行移动调整角度时，会因为位置偏移而导致石英管出现对接偏差的效果；
15、3.本专利技术所述的一种卧式碳化硅外延炉，当石英管搭接在闭合定位盖的顶部表面上时，配合另一块闭合定位盖合拢包裹在石英管的顶部表面上，随着两个闭合定位盖不断对石英管的表面进行挤压，并且配合垫高硅胶条使得石英管保持在两个闭合定位盖的中心位置上，再通过螺纹伸缩杆两端上的卡接锁扣与闭合定位盖外侧表面上的卡接头进行对接，转动螺纹伸缩杆的表面，将螺纹伸缩杆两端上的卡接锁扣向中间进行拉紧，进而保持闭合定位盖的稳固状态，使得闭合定位盖不会松弛剥离开来，再配合转盘在固定台臂和限位套壳之间的缝隙中进行转动，在限位套壳的限位下，使得转盘内侧壁面上的螺纹杆进行上下移动，进而对限位套壳内侧壁面上的闭合定位盖进行定向移动，使得闭合定位盖只能进行上下垂直移动，进而使得石英管只能进行上下垂直移动，不会因为石英管的一端在进行移动时会出现过多偏移，再配合套筒和闭合定位盖的限定下，使得石英管无论如何进行运作都可以进行水平横向移动的效果。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种卧式碳化硅外延炉，包括单层石英炉室一（11）及对称设置在单层石英炉室一（11）两侧中心表面上的密封法兰（12），活动搭接在密封法兰（12）外侧表面上的滑块（14），活动套接在滑块（14）、密封法兰（12）和单层石英炉室一（11）内侧壁面上的石英管（13），其特征在于：所述滑块（14）的外侧表面上固定安装有端口全防护挤压单元，所述端口全防护挤压单元包括固定连接在滑块（14）顶部表面上的定位套圈（141），所述定位套圈（141）的内侧壁面上可拆卸式安装有套筒（142），所述套筒（142）的内侧壁面上活动套接有推杆（144），所述推杆（144）的一端上固定连接有活动套接在套筒（142）内侧壁面上的锥形盘（145），所述套筒（142）的内侧壁面且位于中间位置上固定连接有包裹在锥形盘（145）外侧表面上的扩张软套头（146），所述扩张软套头（146）的外侧表面固定连接有贴合软条二（147），所述套筒（142）的内侧壁面上设置有贴合软条一（143），所述扩张软套头（146）和套筒（142）的衔接位置处设置有限位槽（148）。
2.根据权利要求1所述的一种卧式碳化硅外延炉，
3.根据权利要求2所述的一种卧式碳化硅外延炉，其特征在于：所述单层石英炉室一（11）的两侧表面上设置有炉室安装板（112），所述单层石英炉室一（11）的内侧壁面且位于中间位置上固定连接有包裹在石英管（13）外侧表面上的单层石英炉室二（113）。
4.根据权利要求3所述的一种卧式碳化硅外延炉，其特征在于：所述单层石英炉室一（11）的内侧壁面且位于单层石英炉室二（113）一侧边缘位置上固定连接有限位杆（114），所述限位杆（114）的外侧表面上活动套接有包裹在单层石英炉室二（113）外侧表面上的滑板（115）。
5.根据权利要求4所述的一种卧式碳化硅外延炉，其特征在于：所述滑板（115）的外侧表面上设置有感应加热电源（117），所述感应加热电源（117）的一侧表面上固定连接有包裹在单层石英炉室二（113）外侧表面上的热场感应圈（116）。
6.根据权利要求5所述的一种卧式碳化硅外延炉，其特征在于：所述单层石英炉室一（11）的外侧表面上设置有循环水口（111），所述单层石英炉室二（113）的外侧表面上固定连接有穿过单层石英炉室一（11）外侧表面上的真空抽口（118）。
7.根据权利要求1所述的一种卧式碳化硅外延炉，其特征在于：所述滑块（14）的外侧表面活动套接在限位轨道（121）的内侧壁面。
8.根据权利要求2所述的一种卧式碳化硅外延炉，其特征在于：两组所述闭合定位盖（126）的外侧表面上固定连接有卡接头（128），所述卡接头（128）的外侧表面上活动套接有卡接锁扣（1210）。
9.根据权利要求8所述的一种卧式碳化硅外延炉，其特征在于：所述卡接锁扣（1210）的一侧表面设置有螺纹伸缩杆（129），二号闭合定位盖（126）的外侧表面上设置有挤压限位槽（1211）。
10.根据权利要求9所述的一种卧式碳化硅外延炉，其特征在于：所述单层石英炉室一（11）的两侧表面对称设置有摆动臂（1212），所述摆动臂（1212）的一端上设置有活动搭接在挤压限位槽（1211）内侧壁面上的下压定位头（1213）。
...【技术特征摘要】
1.一种卧式碳化硅外延炉，包括单层石英炉室一（11）及对称设置在单层石英炉室一（11）两侧中心表面上的密封法兰（12），活动搭接在密封法兰（12）外侧表面上的滑块（14），活动套接在滑块（14）、密封法兰（12）和单层石英炉室一（11）内侧壁面上的石英管（13），其特征在于：所述滑块（14）的外侧表面上固定安装有端口全防护挤压单元，所述端口全防护挤压单元包括固定连接在滑块（14）顶部表面上的定位套圈（141），所述定位套圈（141）的内侧壁面上可拆卸式安装有套筒（142），所述套筒（142）的内侧壁面上活动套接有推杆（144），所述推杆（144）的一端上固定连接有活动套接在套筒（142）内侧壁面上的锥形盘（145），所述套筒（142）的内侧壁面且位于中间位置上固定连接有包裹在锥形盘（145）外侧表面上的扩张软套头（146），所述扩张软套头（146）的外侧表面固定连接有贴合软条二（147），所述套筒（142）的内侧壁面上设置有贴合软条一（143），所述扩张软套头（146）和套筒（142）的衔接位置处设置有限位槽（148）。
2.根据权利要求1所述的一种卧式碳化硅外延炉，其特征在于：所述密封法兰（12）的外侧表面上固定安装有水平定位单元，所述水平定位单元包括固定连接在单层石英炉室一（11）一侧表面上的固定台臂（122），所述单层石英炉室一（11）的一侧表面且位于固定台臂（122）的两侧边缘位置上固定连接有限位轨道（121），所述固定台臂（122）的顶部表面上固定连接有限位套壳（123），所述固定台臂（122）和限位套壳（123）的对接处活动套接有转盘（125），所述固定台臂（122）的外侧表面上活动套接有设置在转盘（125）内侧壁面上的螺纹杆（124），且所述螺纹杆（124）的一端上固定连接有闭合定位盖（126），一号闭合定位盖（126）的外侧表面活动套接在限位套壳（123）的内侧壁面，两组所述闭合定位盖（126）的内侧表面上固定连接有垫高硅胶条（127）。
3.根据权利要求2所述的一种卧式碳化硅外延炉，...
【专利技术属性】
技术研发人员：胡动力，王人松，石海洋，贾新旺，
申请(专利权)人：连科半导体有限公司，
类型：发明
国别省市：
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