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本发明属于卧式碳化炉技术领域，具体的说是一种卧式碳化硅外延炉，包括单层石英炉室一及对称设置在单层石英炉室一两侧中心表面上的密封法兰，活动搭接在密封法兰外侧表面上的滑块，活动套接在滑块、密封法兰和单层石英炉室一内侧壁面上的石英管，所述滑块的外...
该专利属于连科半导体有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过连科半导体有限公司授权不得商用。

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