超精密电火花加工用运动台制造技术

本发明专利技术公开了一种超精密电火花加工用运动台，包括：支架模块，其包括水平设置的水平基座和龙门型支架；X轴运动模块，其包括X轴基座和沿X轴方向往复运动的X轴滑台组件；Y轴运动模块，其包括Y轴基座和沿Y轴方向运动的Y轴滑台组件，所述Y轴滑台组件上设有工作液槽；Z轴运动模块，其包括Z轴基座和沿Z轴方向往复运动的Z轴滑台组件，所述Z轴滑台组件上设有伸入所述工作液槽内的电火花头；其中，所述X轴基座上设有一对X轴气浮导轨，X轴滑台组件上设有与一对X轴气浮导轨适配的一对X轴气浮块组。本发明专利技术提高了电火花加工用运动台的加工精度、系统刚性及稳定性，使得电火花加工工艺可以应用到高性能材料超精密加工中。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及电火花加工设备领域。更具体地说，本专利技术涉及一种超精密电火花加工用运动台。

技术介绍

1、电火花加工是一种利用电能和热能对待加工工件进行加工的工艺，电火花加工相对于传统切削加工的区别在于，电火花加工时电火花工具电极与待加工工件并不接触，而是通过在电火花工具电机与待加工工件间不断产生脉冲性火花放电，利用放电时产生局部、瞬时的高温把金属材料逐步蚀除下来，现有的电火花加工用运动平台多采用线轨支撑、伺服电机和丝杠方式驱动，其整体加工精度和支撑能力受限，随着工业生产的发展和科技的进步，高熔点、高硬度、高强度、高脆性、高粘度和高纯度等高性能的新材料不断出现，这些高性能新材料的加工精度要求较高，其中，在超硬材料的切削加工，如硬质合金、淬火钢、聚晶金刚石的切削加工，超硬材料的工件质量较大，对加工运动平台的刚性及稳定性也要求较高，现有的电火花加工用运动平台多数采用数控机床，如公布号为cn116786919a_的专利技术专利中公开了一种电火花加工机床，其安装位均设有两个导轨，同一安装位的驱动组件滑动安装在两个导轨上，所述驱动组件包括电机和连接于电机转轴的丝杠杆本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.超精密电火花加工用运动台，其特征在于，包括：

2.如权利要求1所述的超精密电火花加工用运动台，其特征在于，所述Y轴基座上沿Y轴方向设有一对Y轴气浮导轨，所述Y轴滑台组件上设有正对一对Y轴气浮导轨外侧的一对Y轴气浮块和设置在Y轴滑台组件底部的小孔节流单元，所述Y轴气浮块上设有连接至气源的进气孔和多个节流出气孔，任一节流出气孔的出气方向朝向所在侧Y轴气浮导轨的外侧面，所述小孔节流单元与气源连通，且其出气方向朝向所在侧Y轴气浮导轨的顶部。

3.如权利要求2所述的超精密电火花加工用运动台，其特征在于，所述X轴滑台组件、Y轴滑台组件和Z轴滑台组件均包括：

4...

【技术特征摘要】

1.超精密电火花加工用运动台，其特征在于，包括：

2.如权利要求1所述的超精密电火花加工用运动台，其特征在于，所述y轴基座上沿y轴方向设有一对y轴气浮导轨，所述y轴滑台组件上设有正对一对y轴气浮导轨外侧的一对y轴气浮块和设置在y轴滑台组件底部的小孔节流单元，所述y轴气浮块上设有连接至气源的进气孔和多个节流出气孔，任一节流出气孔的出气方向朝向所在侧y轴气浮导轨的外侧面，所述小孔节流单元与气源连通，且其出气方向朝向所在侧y轴气浮导轨的顶部。

3.如权利要求2所述的超精密电火花加工用运动台，其特征在于，所述x轴滑台组件、y轴滑台组件和z轴滑台组件均包括：

4.如权利要求3所述的超精密电火花加工用运动台，其特征在于，所述x轴直线驱动组件、y轴直线驱动组件以及z轴直线驱动组件均包括直线驱动电机、光栅尺和以及与所述光栅尺配合的读数头，其中，x轴直线驱动组件的直线驱动电机，其定子设置在x轴基座上、动子设置在x轴滑台组件的安装底板底部；x轴直线驱动组件的光栅尺和读数头分别设置在x轴基座和x轴滑台组件的安装板底部；y轴直线驱动组件的直线驱动电机，其定子设置在y轴基座上、动子设置在y轴滑台组件的安装底板底部；y轴直线驱动组件的光栅尺和读数头分别设置在y轴基座和y轴滑台组件的安装板底部；z轴直线驱动电机，其定子设置在z轴基座上、动子设置在z轴滑台组件的安装底板底部，z轴直线驱动组件的光栅尺...

【专利技术属性】
技术研发人员：肖国丰，陈志强，刘中伟，
申请(专利权)人：北京瑞邦精控科技有限公司，
类型：发明
国别省市：