【技术实现步骤摘要】
本技术涉及光谱测量领域,具体是一种斩波器。
技术介绍
1、在真空紫外领域为了方便测量120~200nm波段探测器中所测样品对光谱响应度,需要要研制一种能够将前端光信号经过一种具有特定结构的镀膜斩波片实现反射及透射后,分别被参考探测器及采集探测器所接收,其中前端光束经过斩波片反射所测得的信号做为参照信号,光束经过斩波片间隙打到样品上反射出的信号做为测量信号。
2、现有斩波片锁相放大器输入信号单一,没有分离,反射信号会对入射信号有一定干扰,且不能通过对比筛选分离出所需信号,造成所测样品对光谱响应度低,不能通过探测器之间的数据比计算得出样品的反射率。
技术实现思路
1、本技术的目的在于提供一种斩波器,能够两点辅助测量,提供参考信号用于对比筛选分离出结果信号,提高所测样品对光谱响应度。
2、本技术的目的可以通过以下技术方案实现:
3、一种斩波器,包括斩波片和驱动装置,所述斩波片通过驱动装置驱动旋转,所述斩波片外侧设置有用于检测器斩波片转动频率的监测器,所述斩波片
...【技术保护点】
1.一种斩波器,包括斩波片(1)和驱动装置(2),所述斩波片(1)通过驱动装置(2)驱动旋转,其特征在于,所述斩波片(1)外侧设置有用于检测器斩波片(1)转动频率的监测器(3),所述斩波片(1)上远离驱动装置(2)一侧镀有反射膜,所述反射膜用于反射光信号,所述斩波片(1)包括至少两片扇叶(11),相邻两片扇叶(11)之间设置有用于光波透过的缺口(12)。
2.根据权利要求1所述的一种斩波器,其特征在于,所述驱动装置(2)包括用于真空环境的无刷直流伺服电机(21)。
3.根据权利要求2所述的一种斩波器,其特征在于,所述斩波片(1)通过固定卡环(4
...【技术特征摘要】
1.一种斩波器,包括斩波片(1)和驱动装置(2),所述斩波片(1)通过驱动装置(2)驱动旋转,其特征在于,所述斩波片(1)外侧设置有用于检测器斩波片(1)转动频率的监测器(3),所述斩波片(1)上远离驱动装置(2)一侧镀有反射膜,所述反射膜用于反射光信号,所述斩波片(1)包括至少两片扇叶(11),相邻两片扇叶(11)之间设置有用于光波透过的缺口(12)。
2.根据权利要求1所述的一种斩波器,其特征在于,所述驱动装置(2)包括用于真空环境的无刷直流伺服电机(21)。
3.根据权利要求2所述的一种斩波器,其特征在于,所述斩波片(1)通过固定卡环(4)安装在所述无刷直流伺服电机(21)的轴端上。
4.根据权利要求1所述的一种斩波器,其特征在于,所述斩波片(1)的反射面在反射时与单色器(5)所分出光束形成的入射夹角为45°。
5.根据权利要求...
【专利技术属性】
技术研发人员:李长松,马立敏,李朝阳,
申请(专利权)人:安徽创谱仪器科技有限公司,
类型:新型
国别省市:
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