一种便于清理的单晶炉抽空管道制造技术

本技术公开了一种便于清理的单晶炉抽空管道，具体涉及抽空管道制造领域，包括抽空管道，抽空管道两侧设置有法兰，抽空管道内腔对称设置有两个滑轨，滑轨内部均可拆卸设置有连接板，连接板一侧均固定设置有滑块，两个滑块一端共同设置有移动筒，移动筒表面设置有毛刷，移动筒内部设置有横杆，横杆外部设置有T形连接头，T形连接头一侧可拆卸设置有推动组件。本技术通过在抽空管道内部活动设置移动筒，当移动筒在移动时，移动筒表面设置的毛刷能够与抽空管道内壁接触，能够实现对抽空管道内壁全方位清理的功能。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及管道制造，更具体地说，本技术涉及一种便于清理的单晶炉抽空管道。

技术介绍

1、单晶硅需要在高温与适合晶体生长的炉压条件下缓慢生产，并且在拉晶前要将单晶炉内部抽为真空，因此需要真空泵通过抽空管道抽走炉内气体，实现炉体内部真空状态。

2、专利申请公布号cn201721453418.3的技术专利公开了一种单晶炉双y型抽空管道，其关键技术在于，其包括对称设置的两个抽空支管，抽空支管上设置有支管法兰，抽空支管的一端设置有泄压装置，另一端通过支管三通分别连接有泄压装置和y型接管，该结构的优点在于拆卸组装简单快捷。

3、抽空管道在抽空时随着管道后端温度的降低挥发物会粘附在管道内壁上，从而会堆积大量挥发物，导致管道堵塞，由于该结构内部缺少清洁装置，在清理时需要人工手动清理，但是由于抽空管道形状不规则，在清洁时十分不便。

技术实现思路

1、为了克服现有技术的上述缺陷，本技术提供一种便于清理的单晶炉抽空管道，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。

2、为实现上述目的，本技术提供如下技术方案本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种便于清理的单晶炉抽空管道，包括抽空管道（1），其特征在于：所述抽空管道（1）两侧设置有法兰（15），所述抽空管道（1）内腔对称设置有两个滑轨（3），所述滑轨（3）内部均可拆卸设置有连接板（13），所述连接板（13）一侧均固定设置有滑块（14），两个所述滑块（14）一端共同设置有移动筒（4），所述移动筒（4）表面设置有毛刷（5），所述移动筒（4）内部设置有横杆（8），所述横杆（8）外部设置有T形连接头（9），所述T形连接头（9）一侧可拆卸设置有推动组件（2）。

2.根据权利要求1所述的一种便于清理的单晶炉抽空管道，其特征在于：所述推动组件包括设置在T形连接头（9）一侧的...

【技术特征摘要】

1.一种便于清理的单晶炉抽空管道，包括抽空管道（1），其特征在于：所述抽空管道（1）两侧设置有法兰（15），所述抽空管道（1）内腔对称设置有两个滑轨（3），所述滑轨（3）内部均可拆卸设置有连接板（13），所述连接板（13）一侧均固定设置有滑块（14），两个所述滑块（14）一端共同设置有移动筒（4），所述移动筒（4）表面设置有毛刷（5），所述移动筒（4）内部设置有横杆（8），所述横杆（8）外部设置有t形连接头（9），所述t形连接头（9）一侧可拆卸设置有推动组件（2）。

2.根据权利要求1所述的一种便于清理的单晶炉抽空管道，其特征在于：所述推动组件包括设置在t形连接头（9）一侧的连接块（10），所述连接块（10）一侧设置有弹簧（7），所述弹簧（7）一侧设置有调节组件。

3.根据权利要求2所述的一种便于清理的单晶炉抽空管道，其特征在于：所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：王志成，赵江辉，王江，常武东，董瑞，杨洪玉，王建利，郭嘉伟，董智慧，
申请(专利权)人：乌海市京运通新材料科技有限公司，
类型：新型
国别省市：