一种扩散炉管及电池生产设备制造技术

本申请公开了一种扩散炉管及电池生产设备，该扩散炉管包括：炉管本体，炉管本体具有炉管内腔，炉管内腔用于容置多个硅片；硼源进气口，硼源进气口与炉管内腔连通，以向炉管内腔输送硼源气体；稳流进气口，稳流进气口与炉管内腔连通且用于设置于各硅片的下方，以向炉管内腔输送辅助气体。本申请能够有效平衡液态B<subgt;2</subgt;O<subgt;3</subgt;受到的重力，能够使硅片上形成高均匀性的PN结。

【技术实现步骤摘要】

本申请涉及电池生产设备，尤其涉及一种扩散炉管及电池生产设备。

技术介绍

1、近年来，钝化接触电池作为太阳电池中的一种，其以高转换效率、低成本、衰减低、n型电池温度系数低等众多优势，吸引各大行业内外的疯狂投资，产能扩张迅速。

2、太阳电池的核心为pn结，在制备pn结的硼扩散工序中，目前大多使用三氯化硼(bcl3)作为硼源，其反应方程式：4bcl3+3o2＝2b2o3+6cl2，2b2o3+3si＝4b+3sio2。其中，b2o3在硼扩散温度下以液态形式存在于硅片表面，并与si发生还原反应生成b单质，b单质作为扩散源在高温下向硅片内部扩散，形成pn结。

3、但是在重力的作用下，由于液态b2o3会在硅片上自上而下分布不均匀，因此这样也会导致硅片上形成的pn结不均匀。

技术实现思路

1、针对相关技术中的上述不足，本申请提供了一种扩散炉管及电池生产设备，以解决相关技术中因液态b2o3受到重力作用而导致液态b2o3在硅片上分布不均匀的问题。

2、为了解决上述技术问题，第一方面，本申请提本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种扩散炉管，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的扩散炉管，其特征在于，所述稳流进气口沿竖向朝上设置。

3.根据权利要求1或2所述的扩散炉管，其特征在于，所述稳流进气口设置有多个。

4.根据权利要求3所述的扩散炉管，其特征在于，所述炉管本体上设置有供所述硅片进出所述炉管内腔的进出口，所述炉管本体通过法兰连接有用于封堵所述进出口的炉门体，所述法兰与所述炉管本体和所述炉门体密封配合。

5.根据权利要求4所述的扩散炉管，其特征在于，所述扩散炉管还包括：

6.根据权利要求5所述的扩散炉管，其特征在于，各所述硅片沿第一水平方向...

【技术特征摘要】

1.一种扩散炉管，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的扩散炉管，其特征在于，所述稳流进气口沿竖向朝上设置。

3.根据权利要求1或2所述的扩散炉管，其特征在于，所述稳流进气口设置有多个。

4.根据权利要求3所述的扩散炉管，其特征在于，所述炉管本体上设置有供所述硅片进出所述炉管内腔的进出口，所述炉管本体通过法兰连接有用于封堵所述进出口的炉门体，所述法兰与所述炉管本体和所述炉门体密封配合。

5.根据权利要求4所述的扩散炉管，其特征在...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘明亮，
申请(专利权)人：通威太阳能彭山有限公司，
类型：新型
国别省市：