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本申请公开了一种扩散炉管及电池生产设备,该扩散炉管包括:炉管本体,炉管本体具有炉管内腔,炉管内腔用于容置多个硅片;硼源进气口,硼源进气口与炉管内腔连通,以向炉管内腔输送硼源气体;稳流进气口,稳流进气口与炉管内腔连通且用于设置于各硅片的下方,...该专利属于通威太阳能(彭山)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过通威太阳能(彭山)有限公司授权不得商用。
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本申请公开了一种扩散炉管及电池生产设备,该扩散炉管包括:炉管本体,炉管本体具有炉管内腔,炉管内腔用于容置多个硅片;硼源进气口,硼源进气口与炉管内腔连通,以向炉管内腔输送硼源气体;稳流进气口,稳流进气口与炉管内腔连通且用于设置于各硅片的下方,...