【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及流量传感器，属于传感器制作领域。
技术介绍
1、随着先进制造、新能源、新材料、生物医药、核安全和人工智能等领域的迅速发展，精密测量尤其是液体微小流量(小于10ml/min)的测量需求逐渐凸显出来。例如，光刻胶与显影液涂布、锂电池电解液填充、精细化工试剂泵送、静脉注射定量给药等，特别是镇痛类药物的持续小剂量输注、儿科重症监护病房的药物输注等特殊应用场景，对100μl/min以下液体微小流量测量的准确度和测量下限又提出了新的需求。由于微小流体流动的流量范围越来越低，基于宏观测量原理的流量测量方法不可避免的具有一定的局限性，限制了它们的应用。与这些流量测量方法相比，采用热式流量传感器测量(热式流量传感器包括热分布型流量传感器和热损失型流量传感器等不同类型传感器)具有压损低、流量测量范围大、精度高、重复性高、可靠性高、无可动部件等特点，在气体流量的测量中得到广泛应用，并且可以用于极低气体流量的测量。而在液体流量测量方面，现有的热式流量传感器易受到液体温度变化影响，抗干扰能力有待提高，测量精度低以及量程范围较小。此外，热式流量传感器...
【技术保护点】
1.一种用于液体微小流量测量的双模双向热式流量传感器，其特征在于，所述传感器包括径向截面为矩形的玻璃管(1)、5个蛇形薄膜电阻器、电源、数据采集器和控制器；
2.根据权利要求1所述的一种用于液体微小流量测量的双模双向热式流量传感器，其特征在于，热分布模型，表示为：
3.根据权利要求1所述的一种用于液体微小流量测量的双模双向热式流量传感器，其特征在于，热损失模型，表示为：
4.根据权利要求1所述的一种用于液体微小流量测量的双模双向热式流量传感器，其特征在于，权重模型，表示为：
【技术特征摘要】
1.一种用于液体微小流量测量的双模双向热式流量传感器，其特征在于，所述传感器包括径向截面为矩形的玻璃管(1)、5个蛇形薄膜电阻器、电源、数据采集器和控制器；
2.根据权利要求1所述的一种用于液体微小流量测量的双模双向热式流量传感器，其特征在于，热...
【专利技术属性】
技术研发人员：侯立凯，范旭，包福兵，凃程旭，赵亚磊，余健，卢兆泽，
申请(专利权)人：中国计量大学，
类型：发明
国别省市：
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