【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及太阳电池片制造，具体涉及一种链式局域镀膜设备和镀膜方法。
技术介绍
1、现有管式pecvd镀膜设备，半成品电池片放置在石墨载具内侧，石墨载具的面积比半成品电池片大20％以上，完全覆盖半成品电池片。电离激发的等离子体覆盖半成品电池片表面，使得半成品电池片表面整面沉积薄膜，并且各个位置的薄膜厚度、折射率较为均一。均一的膜厚、折射率，带来电池片表面各个位置对入射光的反射较为一致，呈现出来的颜色也基本一致。目前perc双面太阳电池的背面整面呈现淡蓝色，topcon双面太阳电池的背面整面呈现蓝色。
2、专利文件cn212582004u于公告日2021年02月23日公开了一种电池片镀膜设备，其技术方案中包括：多个真空腔体；多个真空门阀，相邻的两个真空腔体之间通过一个真空门阀相连；运料装置，用于向真空腔体内输入电池片或从真空腔体内运出电池片；载板，可流转地设于多个真空腔体内，载板用于承载电池片；第一电池片升降机构，用于在运料装置和载板之间传输电池片；第一传输装置，每个真空腔体内设有第一传输装置，其中，第一传输装置用于在多个真空腔体之间传输载板和/或传输运料装置。其有益效果在于：减少了载板和大气的接触，有利于保持载板温度的稳定性和减少水气、杂质的积累，从而可以提升电池片温度的稳定性和洁净度，进而提升电池片的工艺处理效果。
3、如上述专利的现有技术中，采用了一种链式镀膜的方式，减少了载板和大气的接触，进而提升电池片的工艺处理效果，但其在进行电池片上的镀膜工艺时，仍然只能在太阳电池的正面或者背面进行整面镀膜，不
技术实现思路
1、本专利技术的目的是提供链式局域镀膜设备和镀膜方法，以解决现有技术中的上述不足之处。
2、为了实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：
3、一种链式局域镀膜设备和镀膜方法，包括反应仓与传输组件，所述反应仓内顺着传输组件输送电池片的方向依次设置有进料腔、缓冲腔、工艺腔与出料腔，各腔体前后设置有闸门，还包括：第一加热件，其设置在工艺腔内；供气管路，其排气端设置在工艺腔内，用于向工艺腔内输送反应气体；激发单元，其设置有多个，在工艺腔内以宽度方向分布；在所述输送组件输送电池片前端经过激发单元下方时，激发单元通电以在其与电池片之间激发反应气体以实现镀膜。
4、优选的，所述缓冲腔内顶面靠近工艺腔一侧设置有第二加热件。
5、优选的，所述激发单元的下边缘与其下侧经过的电池片之间的距离设置为0.5～3mm。
6、优选的，所述激发单元包括2～10对相互交叉的金属片以及射频电源，所述金属片分别为阳极金属片和阴极金属片，所述阳极金属片和射频电源的正极相连接，所述阴极金属片和射频电源的负极相连接，相邻的所述阳极金属片和阴极金属片之间的距离设置为5～15mm。
7、优选的，所述传输组件包括间隔布置的多个滚杆，所述滚杆上对称设置有两个凸环用于支撑电池片。
8、优选的，所述进料腔与缓冲腔之间设置有隔挡，所述隔挡内设置有用于驱动进料腔与缓冲腔之间的闸门升降的驱动组件，所述隔挡上设置有限位组件，所述限位组件在进料腔与缓冲腔之间存在较大压强差时限制驱动组件带动闸门上升。
9、优选的，所述驱动组件包括隔挡内转动设置的螺杆，所述螺杆上螺纹套接有位移件，所述位移件通过连杆与闸门上端活动连接，所述反应仓上安装有电机，所述电机输出端通过离合组件与螺杆同轴连接。
10、优选的，所述限位组件包括隔挡上活动贯穿设置的控制杆，所述控制杆两端均设置有弹性盘并分别检测进料腔与缓冲腔的内部压强，所述控制杆上固定设置有限位叉，所述位移件上设置有与限位叉相匹配的凸块。
11、优选的，所述离合组件包括隔挡内开设的离合槽，所述离合槽内转动设置有相互啮合的第一牙盘与第二牙盘，所述第一牙盘与电机输出端同轴固定连接，所述第二牙盘与螺杆同步转动连接，所述第二牙盘远离第一牙盘一侧通过弹性件连接有贴合在离合槽内壁的套环。
12、一种镀膜方法，其基于所述的链式局域镀膜设备，包括：电池片在所述传输组件的带动下，以背面朝上连续经过进料腔、缓冲腔、工艺腔与出料腔，第一加热件对工艺腔内部以及经过工艺腔的电池片加热至反应温度，供气管路将反应气体送入工艺腔内，在电池片经过激发单元下方时，激发单元通电以在其与电池片之间激发反应气体以实现镀膜。
13、在上述技术方案中，本专利技术的有益效果是：
14、该链式局域镀膜设备通过设置多个激发单元，在工艺腔内由第一加热件加热到反应温度，且由供气管路向工艺腔内充入反应气体后，电池片进入工艺腔中，在经过激发单元下方时，激发单元通电以在其与电池片之间激发反应气体以实现局域镀膜，由于多个激发单元设置不同工作频率、尺寸和位置，从而可实现不同位置的局域镀膜，并使对应区域调制出不同的膜厚和折射率，进而可呈现不同条状颜色。
15、应当理解，前面的一般描述和以下详细描述都仅是示例性和说明性的，而不是用于限制本公开。
16、本申请文件提供本公开中描述的技术的各种实现或示例的概述，并不是所公开技术的全部范围或所有特征的全面公开。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种链式局域镀膜设备，包括反应仓(1)与传输组件，所述反应仓(1)内顺着传输组件输送电池片的方向依次设置有进料腔(2)、缓冲腔(3)、工艺腔(4)与出料腔(5)，各腔体前后设置有闸门(6)，其特征在于，还包括：
2.根据权利要求1所述的链式局域镀膜设备，其特征在于，所述缓冲腔(3)内顶面靠近工艺腔(4)一侧设置有第二加热件(9)。
3.根据权利要求1所述的链式局域镀膜设备，其特征在于，所述激发单元(35)的下边缘与其下侧经过的电池片之间的距离设置为0.5～3mm。
4.根据权利要求1所述的链式局域镀膜设备，其特征在于，所述激发单元(35)包括2～10对相互交叉的金属片以及射频电源，所述金属片分别为阳极金属片和阴极金属片，所述阳极金属片和射频电源的正极相连接，所述阴极金属片和射频电源的负极相连接，相邻的所述阳极金属片和阴极金属片之间的距离设置为5～15mm。
5.根据权利要求1所述的链式局域镀膜设备，其特征在于，所述传输组件包括间隔布置的多个滚杆(10)，所述滚杆(10)上对称设置有两个凸环(11)用于支撑电池片。
6
7.根据权利要求6所述的链式局域镀膜设备，其特征在于，所述驱动组件包括隔挡(12)内转动设置的螺杆(13)，所述螺杆(13)上螺纹套接有位移件(14)，所述位移件(14)通过连杆(15)与闸门(6)上端活动连接，所述反应仓(1)上安装有电机(16)，所述电机(16)输出端通过离合组件与螺杆(13)同轴连接。
8.根据权利要求7所述的链式局域镀膜设备，其特征在于，所述限位组件包括隔挡(12)上活动贯穿设置的控制杆(17)，所述控制杆(17)两端均设置有弹性盘(18)并分别检测进料腔(2)与缓冲腔(3)的内部压强，所述控制杆(17)上固定设置有限位叉(19)，所述位移件(14)上设置有与限位叉(19)相匹配的凸块(20)。
9.根据权利要求7所述的链式局域镀膜设备，其特征在于，所述离合组件包括隔挡(12)内开设的离合槽(21)，所述离合槽(21)内转动设置有相互啮合的第一牙盘(22)与第二牙盘(23)，所述第一牙盘(22)与电机(16)输出端同轴固定连接，所述第二牙盘(23)与螺杆(13)同步转动连接，所述第二牙盘(23)远离第一牙盘(22)一侧通过弹性件(24)连接有贴合在离合槽(21)内壁的套环(25)。
10.一种镀膜方法，其基于上述的权利要求1～9任意一项所述的链式局域镀膜设备，其特征在于，包括：电池片在所述传输组件的带动下，以背面朝上连续经过进料腔(2)、缓冲腔(3)、工艺腔(4)与出料腔(5)，第一加热件(7)对工艺腔(4)内部以及经过工艺腔(4)的电池片加热至反应温度，供气管路(8)将反应气体送入工艺腔(4)内，在电池片经过激发单元(35)下方时，激发单元(35)通电以在其与电池片之间激发反应气体以实现镀膜。
...【技术特征摘要】
1.一种链式局域镀膜设备，包括反应仓(1)与传输组件，所述反应仓(1)内顺着传输组件输送电池片的方向依次设置有进料腔(2)、缓冲腔(3)、工艺腔(4)与出料腔(5)，各腔体前后设置有闸门(6)，其特征在于，还包括：
2.根据权利要求1所述的链式局域镀膜设备，其特征在于，所述缓冲腔(3)内顶面靠近工艺腔(4)一侧设置有第二加热件(9)。
3.根据权利要求1所述的链式局域镀膜设备，其特征在于，所述激发单元(35)的下边缘与其下侧经过的电池片之间的距离设置为0.5～3mm。
4.根据权利要求1所述的链式局域镀膜设备，其特征在于，所述激发单元(35)包括2～10对相互交叉的金属片以及射频电源，所述金属片分别为阳极金属片和阴极金属片，所述阳极金属片和射频电源的正极相连接，所述阴极金属片和射频电源的负极相连接，相邻的所述阳极金属片和阴极金属片之间的距离设置为5～15mm。
5.根据权利要求1所述的链式局域镀膜设备，其特征在于，所述传输组件包括间隔布置的多个滚杆(10)，所述滚杆(10)上对称设置有两个凸环(11)用于支撑电池片。
6.根据权利要求1所述的链式局域镀膜设备，其特征在于，所述进料腔(2)与缓冲腔(3)之间设置有隔挡(12)，所述隔挡(12)内设置有用于驱动进料腔(2)与缓冲腔(3)之间的闸门(6)升降的驱动组件，所述隔挡(12)上设置有限位组件，所述限位组件在进料腔(2)与缓冲腔(3)之间存在较大压强差时限制驱动组件带动闸门(6)上升。
7.根据权利要求6所述的链式局域镀膜设备，其特征在于，所述驱动组件包括隔挡...
【专利技术属性】
技术研发人员：许佳平，秦臻，李宝磊，王波，路忠林，都有为，但艾秋，
申请(专利权)人：安徽旭合新能源科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。