下载一种链式局域镀膜设备和镀膜方法的技术资料

文档序号:43099013

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本发明公开了一种链式局域镀膜设备和镀膜方法,包括反应仓与传输组件,所述反应仓内顺着传输组件输送电池片的方向依次设置有进料腔、缓冲腔、工艺腔与出料腔,各腔体前后设置有闸门,还包括:第一加热件,其设置在工艺腔内;供气管路,其排气端设置在工艺腔内...
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