芯片老化测试柜温控装置及芯片老化测试柜制造方法及图纸

技术编号:43064863 阅读:23 留言:0更新日期:2024-10-22 14:42
本技术公开一种芯片老化测试柜温控装置,用于芯片老化测试柜,芯片老化测试柜包括内柜体和位于内柜体中的多层测试板,芯片老化测试柜温控装置包括:多个送风组件,每一个送风组件对应于一层测试板上下设置,用以朝向测试板垂直吹风;风机,风机具有进气口和出气口,进气口用于连通内柜体,以在风机工作时从内柜体中进气;调温组件,调温组件设置于风机与多个送风组件之间,并分别与出气口和多个送风组件连通,调温组件用于对通过的气体温度进行调节。本技术芯片老化测试柜温控装置用于芯片老化测试柜,可使芯片老化测试柜适用于高功率芯片的大批量测试,增加高功率芯片的同测数量,提升测试效率,提高测试产能,以满足市场供应需求。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及半导体测试,特别涉及一种芯片老化测试柜温控装置及芯片老化测试柜


技术介绍

1、随着半导体电子技术的进步,老化测试已成为保证芯片产品质量的关键流程,并且,通常采用过老化测试柜对芯片进行老化测试,质检测试通过后方可出厂。

2、目前,市面上现有的老化测试柜普遍用于一般功率的芯片的老化测试,测试柜上的温控装置主要针对一般功率芯片以进行设计,以在芯片测试时于柜内形成满足于一般功率芯片测试的温度环境。然而,若大批量测试功率相对较高的芯片,高功率芯片在测试过程中对柜内的温度环境热影响大,容易造成柜内热量不均匀,不能够很好地使各高功率芯片的测试温度保持相同,影响测试稳定性。因此,通常是减少高功率芯片的同测数量,导致测试效率低,测试产能不足,不能满足市场供应需求。


技术实现思路

1、本技术的主要目的是提出一种芯片老化测试柜温控装置,旨在解决目前老化测试柜测试功率相对较高的芯片测试效率低、测试产能不足的技术问题。

2、为实现上述目的,本技术提出一种芯片老化测试柜温控装置,用于芯片老化测试柜,所本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种芯片老化测试柜温控装置,用于芯片老化测试柜,所述芯片老化测试柜包括内柜体和位于所述内柜体中的多层测试板,其特征在于,所述芯片老化测试柜温控装置包括:

2.根据权利要求1所述的芯片老化测试柜温控装置,其特征在于,所述测试板上设有多个用以搭载被测芯片的测试座,所述送风组件包括:

3.根据权利要求2所述的芯片老化测试柜温控装置,其特征在于,所述送风框包括:

4.根据权利要求3所述的芯片老化测试柜温控装置,其特征在于,所述送风框还包括:

5.根据权利要求2所述的芯片老化测试柜温控装置,其特征在于,所述直吹出风头与所述送风框可拆卸连接。...

【技术特征摘要】

1.一种芯片老化测试柜温控装置,用于芯片老化测试柜,所述芯片老化测试柜包括内柜体和位于所述内柜体中的多层测试板,其特征在于,所述芯片老化测试柜温控装置包括:

2.根据权利要求1所述的芯片老化测试柜温控装置,其特征在于,所述测试板上设有多个用以搭载被测芯片的测试座,所述送风组件包括:

3.根据权利要求2所述的芯片老化测试柜温控装置,其特征在于,所述送风框包括:

4.根据权利要求3所述的芯片老化测试柜温控装置,其特征在于,所述送风框还包括:

5.根据权利要求2所述的芯片老化测试柜温控装置,其特征在于,所述直吹出风头与所述送风框可拆卸连...

【专利技术属性】
技术研发人员:徐永刚彭瑞孙成思何瀚王灿
申请(专利权)人:成都态坦测试科技有限公司
类型:新型
国别省市:

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