太阳能电池及其制备方法技术

本发明专利技术提供了一种太阳能电池及其制备方法。该太阳能电池包括半导体基体，具有第一表面；隧穿层，设置在第一表面上；非晶硅层，设置在隧穿层的背离半导体基体的一侧表面上；微晶硅层，设置在非晶硅层背离隧穿层的一侧表面上。在隧穿层外生长非晶硅层，形成具有隧穿层‑非晶硅层‑微晶层结构的钝化结构。微晶硅层的晶粒结构比非晶硅更有序，可形成更均匀的钝化膜，提高钝化结构的钝化作用，使得太阳能电池中的钝化结构能够满足场钝化的需求。另一方面非晶硅层与微晶层形成一个整体的晶硅结构，由于该结构更加均匀和致密，晶体内部具有较少的裂缝和孔隙，在生长过程中较难困住气体和形成气泡，有效规避钝化结构的起泡风险。

【技术实现步骤摘要】

本申请涉及太阳能电池，具体而言，涉及一种太阳能电池及太阳能电池的制备方法。

技术介绍

1、隧穿氧化层钝化接触(tunnel oxide passivating contacts，简称topcon)太阳能电池(简称topcon电池)，其重点在背面形成的遂穿层和多晶硅层(poly层)的叠层，该叠层一方面由遂穿氧化硅层提供了化学钝化，另一方面又由多晶硅层提供了场钝化。

2、背面生长的topcon钝化结构，多晶硅层起到了诸多作用，例如：作为容纳磷源的膜层，长波光的吸收等，以及有效地保护了隧穿层。但在生产过程中，产线生长的poly层，往往以较高速率生长，虽然提升了产量，满足了快速生长的需求，但是为了保证场钝化作用的有效进行，往往只考虑了poly层作为容纳磷源的膜层，在磷源掺杂过程中会通入大量氢气，导致氢沉积在膜层上，在后续高温退火中会发生氢逸出，导致爆膜引起poly层起泡异常。并且，poly层在发生起泡异常后，会使膜层表面不均匀，从而影响poly层的场钝化效果，无法兼顾poly层本身场钝化作用和起泡的风险。

>技术实现思路...

【技术保护点】

1.一种太阳能电池，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的太阳能电池，其特征在于，

3.根据权利要求1或2所述的太阳能电池，其特征在于，

4.根据权利要求1所述的太阳能电池，其特征在于，所述半导体基体的材料包括以下至少之一：硅、玻璃、金属基底、聚合物基底、碳纳米管、氧化锌和铜铟镓硒。

5.一种根据权利要求1至4中任意一项所述的太阳能电池的制备方法，其特征在于，包括：

6.根据权利要求5所述的太阳能电池的制备方法，其特征在于，形成所述隧穿层的步骤包括：

7.根据权利要求5所述的太阳能电池的制备方法，其特征在于，在...

【技术特征摘要】

1.一种太阳能电池，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的太阳能电池，其特征在于，

3.根据权利要求1或2所述的太阳能电池，其特征在于，

4.根据权利要求1所述的太阳能电池，其特征在于，所述半导体基体的材料包括以下至少之一：硅、玻璃、金属基底、聚合物基底、碳纳米管、氧化锌和铜铟镓硒。

5.一种根据权利要求1至4中任意一项所述的太阳能电池的制备方法，其特征在于，包括：

6.根据权利要求5所述的太阳能电池的制备方法，其特征在于，形成所述隧穿层的步骤包括：

7.根据权利要求5所述的太阳能电池的制备方法，其特征在于，在形成所述非晶硅层的步骤之前，所述制备方法还包括：

8.根据权利要求5所述的太阳能电池的制备方法，其特征在于，形成所述非晶硅层的步骤包括：

【专利技术属性】
技术研发人员：陈伟康，马岚岚，任勇，陈德爽，
申请(专利权)人：横店集团东磁股份有限公司，
类型：发明
国别省市：

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