一种能防止半导体设备尾气回流的尾气输送装置制造方法及图纸

本技术是一种能防止半导体设备尾气回流的尾气输送装置，涉及尾气输送技术领域，包括止回管，止回管的两端分别连接有进气管和出气管，所述止回管中设置有中空管，中空管的一端通过闭合壁与弹簧相连接，中空管设置在止回管的进气腔中，闭合壁与进气腔的一端相贴合，中空管靠近闭合壁的一端上设置有多个出气孔，在需要对尾气进行运输时，尾气通过推动闭合壁对弹簧进行挤压，从而让闭合壁与进气腔分离，中空管上的出气孔移出进气腔中，尾气通过出气孔进入止回腔中，在尾气输送完成后，弹簧推动中空管进入到进气腔，使得闭合壁与进气腔的一端相贴合，从而阻止尾气回流到进气腔中，实现自动闭合，避免操作失误导致尾气回流现象的出现。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及尾气输送，具体为一种能防止半导体设备尾气回流的尾气输送装置。

技术介绍

1、在半导体设备制造过程中，防止尾气回流主要是为了避免热应力引起的器件损坏，防止金属迁移造成短路或信号干扰，减小绝缘材料的性能变化，并确保温度均匀性以保证器件的性能和可靠性。

2、专利号cn201520351680.1提出了能防止尾气回流的尾气输送装置，通过关闭鼓风机，打开水位观察管、进水管上的阀门，水经进水管流入弯管内。当弯管内的水从水位观察管流出时，关闭水位观察管、进水管上的阀门，此时，弯管内的水阻止尾气回流。

3、不过上述设备在使用过程中发现，其控制多个阀门不同步骤的操作，主要依赖于操作人员的技能和经验，操作过程中可能会发生错误或遗漏，例如水位控制的关键在于进水管和排水管阀门的及时操作，如果操作不准确或延迟，可能会导致尾气回流无法有效阻止，从而影响到尾气回流的控制效果。

技术实现思路

1、针对上述问题，本技术提供了一种能防止半导体设备尾气回流的尾气输送装置

2、为实现上述目的，本技术采用本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种能防止半导体设备尾气回流的尾气输送装置，包括止回管(1)，其特征在于：所述止回管(1)的两端分别连接有进气管(2)和出气管(3)，所述止回管(1)靠近进气管(2)的一端内部设置有进气腔(11)，所述进气腔(11)中设置有中空管(111)，所述中空管(111)远离进气管(2)的一端上设置有闭合壁(113)，所述中空管(111)通过闭合壁(113)与弹簧(12)相连接，所述弹簧(12)设置在连接壁(13)的一侧。

2.根据权利要求1所述的一种能防止半导体设备尾气回流的尾气输送装置，其特征在于：所述中空管(111)靠近闭合壁(113)的一端上设置有若干个出气孔(112)。<...

【技术特征摘要】

1.一种能防止半导体设备尾气回流的尾气输送装置，包括止回管(1)，其特征在于：所述止回管(1)的两端分别连接有进气管(2)和出气管(3)，所述止回管(1)靠近进气管(2)的一端内部设置有进气腔(11)，所述进气腔(11)中设置有中空管(111)，所述中空管(111)远离进气管(2)的一端上设置有闭合壁(113)，所述中空管(111)通过闭合壁(113)与弹簧(12)相连接，所述弹簧(12)设置在连接壁(13)的一侧。

2.根据权利要求1所述的一种能防止半导体设备尾气回流的尾气输送装置，其特征在于：所述中空管(111)靠近闭合壁(113)的一端上设置有若干个出气孔(112)。

3.根据权利要求1所述的一种能防止半导体设备尾气回流的尾气输送装置，其特征在于：所述连接壁(13)的另一侧设置有止回腔(14)，所述止回腔(14)的内部设置有多组止回组件(16)。

4.根据权利要求3所述的一种能防...

【专利技术属性】
技术研发人员：张书全，
申请(专利权)人：石家庄帕威半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：