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本技术是一种能防止半导体设备尾气回流的尾气输送装置，涉及尾气输送技术领域，包括止回管，止回管的两端分别连接有进气管和出气管，所述止回管中设置有中空管，中空管的一端通过闭合壁与弹簧相连接，中空管设置在止回管的进气腔中，闭合壁与进气腔的一端相贴...
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