【技术实现步骤摘要】
本技术涉及尾气余热回收，更具体的说，涉及一种外延炉尾气余热回收装置。
技术介绍
1、外延炉是一种用于制作半导体晶体的设备，用于制备高纯度的单晶硅、砷化镓、磷化镓等半导体材料，而生产这些材料是需要使用到硅矿石、镓、砷、磷等材料，这些材料在外延炉加热以及反应过程中可能会产生有害气体，如砷化氢、磷化氢，以及硅尘、砷尘等颗粒物质，这些物质通过外延炉进行排出时，会与余热回收装置进气管道进行连接，其中存在：硅尘、砷尘等颗粒物质可能会附着在余热回收装置进气管道的内壁上，导致管道堵塞，影响余热的回收效率。
2、鉴于此，我们提出一种外延炉尾气余热回收装置。
技术实现思路
1、本技术的目的是针对现有技术的不足，提供一种外延炉尾气余热回收装置，硅尘、砷尘等颗粒物质可能会附着在余热回收装置进气管道的内壁上，导致管道堵塞，影响余热的回收效率的问题。
2、本技术的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的：一种外延炉尾气余热回收装置，包括：余热回收主体所述余热回收主体顶部设有热出端，所述热出端一...
【技术保护点】
1.一种外延炉尾气余热回收装置，包括：余热回收主体(1)，其特征在于，所述余热回收主体(1)顶部设有热出端(2)，所述热出端(2)一侧设有冷出端(3)，所述余热回收主体(1)两侧设有一组收集组件(4)，所述收集组件(4)固定连接尾气收集端(5)，另一所述收集组件(4)固定连接冷气进气端(6)，所述收集组件(4)内部设有清洁机构(7)。
2.根据权利要求1所述的一种外延炉尾气余热回收装置，其特征在于，所述收集组件(4)包括圆柱壳体(401)，所述圆柱壳体(401)内部设有锥形过滤板(402)，所述圆柱壳体(401)上方固定连接上矩形壳体(403)，所述上矩形...
【技术特征摘要】
1.一种外延炉尾气余热回收装置，包括：余热回收主体(1)，其特征在于，所述余热回收主体(1)顶部设有热出端(2)，所述热出端(2)一侧设有冷出端(3)，所述余热回收主体(1)两侧设有一组收集组件(4)，所述收集组件(4)固定连接尾气收集端(5)，另一所述收集组件(4)固定连接冷气进气端(6)，所述收集组件(4)内部设有清洁机构(7)。
2.根据权利要求1所述的一种外延炉尾气余热回收装置，其特征在于，所述收集组件(4)包括圆柱壳体(401)，所述圆柱壳体(401)内部设有锥形过滤板(402)，所述圆柱壳体(401)上方固定连接上矩形壳体(403)，所述上矩形壳体(403)一端固定连接余热回收主体(1)内，所述圆柱壳体(401)下方固定连接下矩形壳体(404)，所述下矩形壳体(404)一端固定连接尾气收集端(5)。
3.根据权利要求2所述的一种外延炉尾气余热回收装置，其特征在于，所述锥形过滤板(402)中心轴处设有清洁机构(7)，所述清洁机构...
【专利技术属性】
技术研发人员：张书全，
申请(专利权)人：石家庄帕威半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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