【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及单晶硅或多晶硅硅棒拉制炉的零部件,尤其涉及单晶硅拉制炉中的子晶夹头部件。
技术介绍
单晶硅和多晶硅已广泛用于半导体和太阳能电池行业,直拉法制备硅棒是硅棒制造领域最常用的方法。在拉晶炉中,硅料经高温熔融后通过子晶夹头部件将硅棒旋转引出,子晶夹头部件中的夹头旋接在拉晶炉的旋转提拉轴上,子晶下端与高温熔融状的晶棒上端粘接在一起,目前常用的子晶是圆柱形的单晶硅,为了使圆柱形子晶能与夹头连接,须在子晶的壁体上磨制一个缺口,子晶放入夹头的固定孔后,通过一个固定销将子晶固定在夹头上,这样既能防止子晶向下移动,又能保持子晶与夹头的同步旋转,从而满足拉晶工艺要求。这种结构的子晶夹头部件在拉制硅棒过程中,子晶很容易在缺口处断裂。有厂家将子晶改为方柱型,将夹头的子晶固定孔改为方孔,方柱型子晶套装在夹头的方形子晶固定孔中,这样的连接结构只能实现子晶与子晶夹头的同步旋转,要实现子晶与夹头之间的轴向限定同样需要通过在子晶壁上磨制缺口,在子晶与夹头之间增设固定销来防止子晶向下移动,这种方柱型子晶夹头部件,在拉制过程中,子晶同样存在从缺口处断裂的缺陷。为有效克服这一缺陷,申请人研制出一套子晶夹头部件,其中子晶是关键零件之一。
技术实现思路
为了克服现有子晶在拉制过程中容易断裂的缺陷,必须改进子晶结构方能解决,本专利技术的目的是提供了一种硅棒拉制用子晶。 这种结构的子晶,在硅棒拉制过程中,子晶与夹头之间直接套装连接,无需固定销连接,子晶的提拉杆受力截面积不会减小,既能有效解决子晶断裂,又能实现子晶与夹头的同步旋转。 本专利技术所采用的技术方案是 本专利技术所述硅棒拉制用子晶, ...
【技术保护点】
一种硅棒拉制用子晶,其特征是:包括截面形状为多边形的连接多棱台(11)和提拉杆(12),连接多棱台(11)的上台面(13)大于下台面(14),提拉杆(12)设置在下台面(14)的下端面。
【技术特征摘要】
一种硅棒拉制用子晶,其特征是包括截面形状为多边形的连接多棱台(11)和提拉杆(12),连接多棱台(11)的上台面(13)大于下台面(14),提拉杆(12)设置在下台面(14)的下端面。2. 根据权利要求l所述硅棒拉制用子晶,其特征是提拉杆(12)为圆柱体或...
【专利技术属性】
技术研发人员:蒋新民,
申请(专利权)人:常州亿晶光电科技有限公司,
类型:发明
国别省市:32[中国|江苏]
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